[发明专利]图案形成装置以及图案形成方法

摘要

本发明涉及图案形成装置以及图案形成方法。在使与开口（P（0））的相邻的开口（P（+1））相连接的正压阀关闭的状态不变的情况下，将吸附阀从打开状态切换至关闭状态，从而停止向开口（P（+1））供给负压。于是，在开口（P（+1））附近，相对于加压空间（SP5）内的加压力的保持橡皮布（BL）的力逐渐减弱，伴随于此加压空间（SP5）内的气体成分流入橡皮布（BL）的开口（P（+1））的铅垂上方部分和上表面（51a）之间，使该橡皮布部分从上表面（51a）浮起并与版（PP）的下表面抵接。这样，能够抑制上述加压空间（SP5）内的压力急剧地发生变动，并且使抵接区域（CA）从中央部向+Y端缘侧缓慢并稳定地扩宽。

主权项

一种图案形成装置，使橡皮布与板状的物体相抵接来在该板状的物体上形成图案，其特征在于，具有：第一保持单元，保持上述物体，第二保持单元，在该第二保持单元的与被上述第一保持单元保持的上述物体相向的平面上形成有多个开口，该第二保持单元通过上述平面吸附保持上述橡皮布，正压供给单元，用于向各开口供给正压，负压供给单元，用于向各开口供给负压，控制单元，针对每个上述开口，控制由上述正压供给单元进行的正压供给动作以及由上述负压供给单元进行的负压供给动作；上述控制部，从一边向上述多个开口中的相对于任意的第一开口位于上述平面的端缘侧的多个第二开口供给负压来通过上述第二保持单元吸附保持上述橡皮布，一边向上述第一开口供给正压来使上述橡皮布的一部分从上述平面浮起使得与上述物体抵接的状态起，停止向多个上述第二开口中的与上述第一开口相邻的第三开口供给负压，使得上述橡皮布的与上述物体抵接的区域扩宽。