[发明专利]分批处理硅片的装卸载装置和设备及方法

摘要

本发明公开一种分批处理硅片的装卸载装置和设备及方法。其中方法包括如下步骤：首先，在实时检测大气机械手产生了“取片失败”或“盒入超时”的报错信息后，生成当前批次硅片所属上料台的报警信息；然后，根据报警信息控制大气机械手停止从所述当前批次硅片所属上料台的料盒中抓取预设批次硅片的操作，并调取上料传送带上装载传送的硅片计数；计算当前上料传送带上剩余预设批次的硅片数量，并根据计算结果将当前上料传送带上的预设批次的剩余硅片全部进行装载处理。本发明提供的分批处理硅片的装卸载装置和设备及方法在保障整个批次处理硅片的装卸操作的顺利进行的同时，还实现了分批处理硅片的自动化。

主权项

一种分批处理硅片的装卸载装置，应用于等离子体增强化学气相沉积设备，包括料盒、上料传送带、大气机械手，其特征在于，还包括用于控制装卸载装置的控制系统，所述控制系统包括上料模块、监测模块、调取模块、判断处理模块，其中：所述上料模块，用于控制大气机械手从料盒中抓取所述预设批次的硅片并放到上料传送带上并计入取片数量，并对在上料传送带上已经装载传送的硅片计入已装载数量；所述监测模块，用于获取料盒内的预设批次硅片的预设数量，并实时检测大气机械手是否产生“取片失败”或“盒入超时”的报错信息，在产生报错信息时生成所述当前批次硅片所属上料台的报警信息；所述调取模块，用于根据所述报警信息控制大气机械手停止从所述当前批次硅片所属上料台的料盒中抓取预设批次硅片的操作，并调取上料传送带上装载传送的硅片计数；所述判断处理模块，用于根据机械手抓取预设批次硅片计数及上料传送带上已经装载的硅片计数计算当前上料传送带上的剩余预设批次的硅片数量，并根据计算结果对当前上料传送带上的预设批次的剩余硅片进行处理。