[发明专利]一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置

摘要

本发明涉及一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，属于磁控溅射镀膜技术领域。包括有无磁型材框架、磁钢托架A、磁钢托架B、仪器测量台、磁场测试器，所述磁钢托架A、磁钢托架B分别固定在无磁型材框架的两侧，其上配装有磁钢，仪器测量台包括有滑块、连接板，在无磁型材框架的一侧设置有滑道，其内配置有滑块，滑道的一侧或两侧设置有刻度B，所述连接板上设置有一水平部和一垂直部，连接板上的水平部固定在滑块的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片，垂直部上设置有托板，其上设置有磁场测试器。本发明的优点是：能够实现一个人独立对磁钢进行检测，测量准确、效率高，制造成本低，有利于大范围的推广和应用。

主权项

一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于：包括无磁型材框架（5）、磁钢托架A（8）、磁钢托架B（6）、仪器测量台（14）、磁场测试器（11），所述磁钢托架A（8）、磁钢托架B（6）分别固定在无磁型材框架（5）的两侧，其上配装有磁钢（3），所述仪器测量台（14）包括有滑块（1）、连接板（2），在无磁型材框架（5）的一侧设置有滑道（4），其内配置有所述滑块（1），在滑道（4）的一侧或两侧设置有刻度B（21），所述连接板（2）上设置有一水平部（19）和一垂直部（20），连接板（2）上的水平部（19）固定在滑块（1）的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片（7），所述垂直部（20）上设置有托板（13），其上装有磁场测试器（11）。