[发明专利]一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置

说明书

 

技术领域

本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种磁钢检测装置。

背景技术

真空镀膜包括光学镀膜与磁控溅射镀膜两种，其中磁控溅射镀膜是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。其在光学薄膜、微电子、材料表面处理等工业化生产或科学研究领域中被广泛应用，尤其应用在大面积平板玻璃表面镀制金属单层质膜、合金膜或金属化合物膜工艺中，其中镀成的薄膜厚度的均匀性是成膜质量检测的一项重要指标，而对薄膜厚度起决定作用的是磁场的分布，由于镀膜设备在工作时会存在一定的机械震动，长时间的机械震动会使磁钢内的小磁铁位置发生位移，从而影响磁场分布，所以就需要定期的对磁钢进行检测。目前的检测方法为：首先将磁钢从靶管中取出，然后用绳子将磁钢的两头吊起，再用磁力仪在磁钢的下面进行一字型测量，这样的测量方式存在以下弊端：

1由于磁钢是被人为的用绳子吊起，所以会左右晃动，从而造成测量不准确；

2由于磁力仪也是人为手持进行测量，所以测量数据也会有偏差；

3测量仪的探头和磁钢的距离由于人为的因素也不能完全保持一致；

4由于磁钢的本身没有刻度，所以不能准确找出磁力不合格的位置；

5检测需要多人合作才能完成，影响检测效率。

发明内容

本发明为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种测量准确，效率高的磁控溅射镀膜用磁钢检测装置。

本发明为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：

一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于：包括无磁型材框架、磁钢托架A、磁钢托架B、仪器测量台、磁场测试器，所述磁钢托架A、磁钢托架B分别固定在无磁型材框架的两侧，其上配装有磁钢，所述仪器测量台包括有滑块、连接板，在无磁型材框架的一侧设置有滑道，其内配置有所述滑块，在滑道的一侧或两侧设置有刻度B，所述连接板上设置有一水平部和一垂直部，连接板上的水平部固定在所述滑块的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片，所述垂直部上设置有托板，其上装有所述磁场测试器。

本发明还可以采用如下技术方案：

所述磁场测试器包括有连杆、支撑杆、测试器外壳，所述支撑杆一端与所述连杆铰接，另一端固定在所述测试器外壳的外表面，所述连杆一端设置有测试探头、另一端通过弹簧固定在测试器外壳的内部上表面，所述测试器外壳的内部设置有带刻度A的显示板。

本发明具有的优点和积极效果为：1、通过将磁钢放置在磁钢托架上，不仅能够实现一个人独立对磁钢进行检测，节省了人力资源，还能够提高测量的准确度，避免了手动测量带来的误差，通过滑块和滑道的配合，可以实现对磁钢的每个部分进行精确测量，由于滑道的一侧或两侧设置有刻度，可以准确找出需要调试的部位，从而实现边测量边调试。2、本发明制造成本低，利于生产实践中大范围的推广应用。

附图说明

图1是本发明的俯视结构示意图；

图2是本发明仪器测量台和无磁型材框架的装配结构示意图；

图3是本发明磁场测试器的结构示意图。

图中：1、滑块；2、连接板；3、磁钢；4、滑道；5、无磁型材框架；6、磁钢托架B；7、指示片；8、磁钢托架A；9、测试探头；10、连杆；11、磁场测试器；12、测试器外壳；13、托板；14、仪器测量台；15、弹簧；16、显示板；17、刻度A；18、支撑杆；19、水平部；20、垂直部；21、刻度B。

 

具体实施方式

为能进一步了解本发明的发明内容、特点及功效，例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：