[发明专利]一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于：包括无磁型材框架（5）、磁钢托架A（8）、磁钢托架B（6）、仪器测量台（14）、磁场测试器（11），所述磁钢托架A（8）、磁钢托架B（6）分别固定在无磁型材框架（5）的两侧，其上配装有磁钢（3），所述仪器测量台（14）包括有滑块（1）、连接板（2），在无磁型材框架（5）的一侧设置有滑道（4），其内配置有所述滑块（1），在滑道（4）的一侧或两侧设置有刻度B（21），所述连接板（2）上设置有一水平部（19）和一垂直部（20），连接板（2）上的水平部（19）固定在滑块（1）的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片（7），所述垂直部（20）上设置有托板（13），其上装有磁场测试器（11）。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于：所述磁场测试器（11）包括有连杆（10）、支撑杆（18）、测试器外壳（12），所述支撑杆（18）一端与所述连杆（10）铰接，另一端固定在所述测试器外壳（12）的外表面，所述连杆（10）一端设置有测试探头（9）、另一端通过弹簧（15）固定在测试器外壳（12）的内部上表面，所述测试器外壳（12）的内部设置有带刻度A（17）的显示板（16）。