[发明专利]硅片切割废液中碳化硅粉体回收提纯方法

摘要

本发明涉及一种硅片切割废液中碳化硅粉体回收提纯方法，是一种硅片切割废液资源化回收利用。本发明包括：向硅片切割废液中加入稀释剂搅拌，以达到降低粘度和去除铁屑的目的；将反应后的悬浮液进行固液分离；用蒸馏水洗涤固体物料至中性，离心，烘干；将该固体物料与一定量的焦炭混合，放置在1500℃～2000℃的气氛炉中反应，将固体物料中的硅转化成碳化硅；反应制得固体粉料经过氧气气氛炉反应除去过量的焦炭得到高纯碳化硅粉体，将该粉体经分级设备进行分级；对分出的不同粒径的碳化硅粉体进行分号包装。本发明提供了一种工艺简单，回收成本较低的工艺，这不仅有效的避免了切割废液直接排放造成的资源浪费及环境污染，同时还降低了硅片切割的生产成本，是一种变废为宝的技术。

主权项

硅片切割废液中碳化硅粉体回收提纯方法，其特征是，包括下述步骤：(1)稀释步骤　向切割废液中加入稀释剂搅拌；(2)固液分离步骤　将反应后的悬浮液进行固液分离，得到固体物；(3)洗涤步骤　用蒸馏水洗涤固体物至中性，离心，烘干；(4)炭混合反应步骤　将一定量的固体物料和过量的焦炭混合，放置在1500℃～2000℃的气氛炉中反应；(5)提纯步骤　将反应制得固体物料放置在氧气气氛炉中反应除去多余焦炭粉提纯碳化硅粉体；(6)分级步骤　将高纯碳化硅粉体经分级设备进行分级；(7)成品包装步骤　对分出的不同粒径的碳化硅粉体进行分号包装。