[发明专利]晶棒线切割装置及晶棒线切割方法在审
| 申请号： | 201611100725.3 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108145873A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 汪燕;刘源 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶棒线切割装置及晶棒线切割方法，所述晶棒线切割装置包括：晶棒进给装置、切割线及切割线驱动装置；所述晶棒进给装置适于固定待切割晶棒，并驱动待切割晶棒向所述切割线运动；所述切割线驱动装置适于驱动所述切割线运动，并对待切割晶棒进行线切割；所述切割线对所述待切割晶棒进行线切割时，每根所述切割线与所述待切割晶棒的接触部分均为弧线。本发明的晶棒线切割装置通过在所述切割线对所述待切割晶棒进行线切割时，将每根所述切割线与所述待切割晶棒的接触部分均调整为弧线，使得所述切割线切割待切割晶棒的切割面积增大，从而提高了切割速度及切割效率。 | ||
| 搜索关键词： | 切割晶棒 切割线 晶棒 线切割 线切割装置 切割 切割线运动 进给装置 驱动装置 弧线 驱动 面积增大 切割效率 种晶 | ||
【主权项】：
一种晶棒线切割装置，包括：晶棒进给装置、切割线及切割线驱动装置；所述晶棒进给装置适于固定待切割晶棒，并驱动待切割晶棒向所述切割线运动；所述切割线驱动装置适于驱动所述切割线运动，并对待切割晶棒进行线切割；其特征在于，所述切割线对所述待切割晶棒进行线切割时，每根所述切割线与所述待切割晶棒的接触部分均为弧线。
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- 本发明涉及金刚线切割领域，特指一种金刚线多线切割机，包括设置在机体中的工作台，工作台旁的机体上设置有升降门，工作台包括水平移动机构，所述水平移动机构包括移动座、固定底座，移动座覆盖于固定底座外，移动座在固定底座上来回移动，且移动座的两侧底边设置在U型槽中，所述U型槽位于移动座内侧的内槽边高于另一侧的外槽边。通过实际生产需要，对其整体结构进行了优化，提高了切割机的整体性能。
- 一种玉石快速切割装置-201821393950.5
- 张向明;万攀;吴新成;张飘;刘浩 - 武汉冠油科技有限公司
- 2018-08-28 - 2019-10-29 - B28D5/04
- 本实用新型涉及玉石切割技术领域，提供了一种玉石快速切割装置，包括基座平台，还包括用于切割玉石的钢丝绳组件以及用于驱使所述钢丝绳组件朝靠近玉石的方向移动的驱动组件，所述基座平台上安装有用于固定玉石的固定座；所述钢丝绳组件包括钢丝绳，所述钢丝绳具有切割段，所述钢丝绳组件还包括用于缩短或加长所述切割段的长度的调节构件。本实用新型的一种玉石快速切割装置，一方面通过驱动组件驱使钢丝绳在切割的过程中朝玉石的方向移动，从而加快了玉石的切割速度，另一方面通过调节构件根据实际玉石的大小改变切割段的长度，避免匹配性不好的情况发生，进而提升了切割效率。
- 一种金刚石线锯生产线张力控制装置-201821531738.0
- 赵鹏;李新龙;梁轶 - 杨凌美畅新材料股份有限公司
- 2018-09-19 - 2019-10-29 - B28D5/04
- 本实用新型涉及张力控制装置技术领域，且公开了一种金刚石线锯生产线张力控制装置，包括总成支架，所述总成支架的内腔等距离设置有安装座总成，所述安装座总成的一侧通过转杆铰接有张力臂本体。本实用新型解决了现有的金刚石线锯张力控制装置对设备张力控制不理想存在误差的问题，本实用新型通过对设置有闭环PID调节系统、位置检测传感器、过线轮和张力臂本体通过PID调节仪稳定张力臂本体在任意角度上的位置，可实现绕经过线轮上金刚石线锯生产张力的稳定；通过监测位置检测传感器控制信号变化，可以判断出绕经过线轮的金刚石线锯在生产过程中是否断线，从而能够对设备张力更好的控制，保证了宝石切割的质量。
- 一种金刚石单线切割机-201821571996.1
- 郭长磊 - 杨凌美畅新材料股份有限公司
- 2018-09-26 - 2019-10-29 - B28D5/04
- 本实用新型涉及材料切割技术领域，且公开了一种金刚石单线切割机，包括切割模块、张力模块、排线模块和护罩，所述切割模块由两个第一导线轮、两个剪力杆和第一L板组成，所述导线轮活动安装在所述剪力杆前侧面的左端，所述第一L板固定安装在位于上方所述剪力杆的顶面，所述剪力杆前侧面的右部开设有若干组间距相同的螺栓连接孔。本实用新型将切割机整体分为不同的模块，模块之间开拆卸的连接方式，可以将切割机整体拆分为各个模块，更加便于携带运输，而且，可以通过调节切割口的宽度和长度，适用于不同规格、材质的切割对象。
- 金刚石切割线生产设备用导电机构-201821585060.4
- 郑建国;罗小平 - 信丰崇辉科技有限公司
- 2018-09-27 - 2019-10-29 - B28D5/04
- 本实用新型涉及一种金刚石切割线生产设备用导电机构包括一电镀槽、接液盒、喷头、潜水泵和多槽导电轮。该导电轮包括两个呈圆环状的挡板、多根连接杆、以及安装在连接杆上的多个环形翅片，该多根连接杆安装在该两挡板之间，多个翅片相互间隔固定于连接杆上，相邻两翅片形成供线材穿过的线槽。本实用新型的金刚石切割线生产设备用导电机构，其结构简单，金刚石切割线可多次缠绕在导电轮上，金刚石切割线和连接杆接触良好，大大减小了金刚石切割线与导电轮的接触面积，即减小了线和轮的摩擦力，防止金刚石颗粒脱落。通过电镀液对导电轮进行清洗，可有效防止导电轮干燥，增加导电轮表面的导电性。
- 专利分类
