[发明专利]一种设有限位器的前线机械手的末端执行器

摘要

本发明公开一种设有限位器的前线机械手的末端执行器，其包含：基座；固定在基座上的驱动装置，驱动装置包含压缩机和弹簧；压缩机连通外接的压缩干燥空气；通过导轨架设在基座上的传动板，导轨方向与驱动装置轴向平行；该传动板连接压缩机的芯轴；弧形的机械爪，其设置在于传动板的端部；基座上设有限位器，该限位器设置于传动板的尾端处，其与传动板的尾端端部之间的距离小于驱动装置中压缩机的最大收缩距离，该限位器通过限制传动板的移动距离，限制弹簧的收缩距离。本发明限制弹簧的收缩距离，避免了弹簧由于收缩至最紧状态而导致卡死的问题，及弹簧回复弹力过大的问题，减少晶圆损坏和破片的问题，节约了晶圆成本。

主权项

一种设有限位器的前线机械手的末端执行器，该末端执行器包含：水平设置的基座（1）；固定在所述基座（1）上的驱动装置（2），该驱动装置包含压缩机（22），以及套设在压缩机（22）芯轴上的弹簧（21）；压缩机（22）连通外接的压缩干燥空气；通过导轨架设在所述基座（1）上的传动板（3），导轨方向与驱动装置（2）轴向平行；该传动板（3）连接所述压缩机（22）的芯轴；弧形的机械爪（4），其设置在于传动板（3）的端部，该机械爪（4）的弧形与晶圆外缘相适配；所述的传动板（3）上，设有机械爪（4）的一端为顶端，与顶端相对的一端为尾端；其特征在于，所述的基座（1）上还固定有限位器（5），该限位器（5）设置于所述传动板（3）的尾端处，其与传动板（3）的尾端端部之间的距离小于驱动装置（2）中压缩机（22）的最大收缩距离，该限位器（5）通过限制传动板（3）的移动距离，来限制弹簧（21）的收缩距离。