[发明专利]封装载体结构无效
申请号: | 201210104368.3 | 申请日: | 2012-04-11 |
公开(公告)号: | CN102623429A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 林慈桦;陈国华;陈冠能 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆勍 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明关于一种封装载体结构,该封装载体结构包括一基材、一第一钝化层、至少一第一金属垫以及一保护层。该基材具有一第一表面及至少一穿导孔,该穿导孔具有一第一端面,该第一端面显露于该第一表面。该第一钝化层形成于该基材的第一表面,该第一钝化层具有至少一第一开口,该第一开口显露该穿导孔的第一端面。该第一金属垫形成于该第一钝化层的第一开口,该第一金属垫具有一中间部及一边缘部,该中间部形成于该穿导孔的第一端面上,该边缘部形成于该第一钝化层上。该保护层覆盖该第一金属垫的边缘部,藉此,可在凸块与该第一金属垫发生对位偏移时,防止未与凸块连接的边缘部氧化。 | ||
搜索关键词: | 封装 载体 结构 | ||
【主权项】:
一种封装载体结构,包括:一基材,具有一第一表面及至少一穿导孔,该穿导孔具有一第一端面,该第一端面显露于该第一表面;一第一钝化层,形成于该基材的第一表面,该第一钝化层具有至少一第一开口,该第一开口显露该穿导孔的第一端面;至少一第一金属垫,形成于该第一钝化层的第一开口,该第一金属垫具有一中间部及一边缘部,该中间部形成于该穿导孔的第一端面上,该边缘部形成于该第一钝化层上;以及一保护层,覆盖该第一金属垫的边缘部。
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