[发明专利]一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器无效
| 申请号： | 201210081249.0 | 申请日： | 2012-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN102607394A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 王文;文耀华;卢科青;相奎;陈子辰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01B7/312;B81C1/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器。由主轴旋转电极和同轴安装在主轴旋转电极外的柱面固定电极构成；其中：主轴旋转电极：是在主轴外圆柱面向外依次包覆有第一绝缘层、主轴铜电极和第二绝缘层；柱面固定电极：是在电极基座内圆柱孔向内依次包覆有第三绝缘层、等电位保护环、第四绝缘层和四个等距嵌在第四绝缘层内圈的四个弧形电极。本发明采用MEMS加工工艺，能将电极加工得很薄，不仅可以克服主要常规方法制造柱面电容传感器时存在的复杂加工、装配工艺，缩小传感器的体积，而且还能抑制传感器的边缘效应，适合于高精度主轴回转误差监测。该工艺易于实现柱面电容传感器的小型化制作，同时易于实现传感器的批量化制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 加工 工艺 柱面 电容 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器，由主轴旋转电极和同轴安装在主轴旋转电极外的柱面固定电极构成；其特征在于：主轴旋转电极（1）：是在主轴（3）外圆柱面向外依次包覆有第一绝缘层（4）、主轴铜电极（5）和第二绝缘层（6）；柱面固定电极（2）：是在电极基座（7）内圆柱孔向内依次包覆有第三绝缘层（8）、等电位保护环（9）、第四绝缘层（10）和四个等距嵌在第四绝缘层（10）内圈的四个弧形电极（11）；四个弧形电极（11）的轴向长度相等，圆心角均为60°。
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