[发明专利]真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳无效
| 申请号： | 201210066708.8 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102618838A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 阮佳龙;康进昌;罗讷纳;唐新荣 | 申请（专利权）人： | 昆山振昆纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215301 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及的是一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，金属罩体上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形；在加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道。本发明确保了冷却水的流通，避免死角现象的产生，有效地对镀膜腔进行快速降温，降低油扩散泵的温度，解决了降温效果不理想的问题，缩短了抽真空的时间，通过减少了镀膜设备外壁安装厚度，加强了冷却外壳的强度；其结构简单、安全可靠和冷却效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 循环 冷却系统 冷却 外壳 | ||
【主权项】：
真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，其特征在于，所述金属罩体上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形；在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道。
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