[发明专利]工件台位置误差测量及预先补偿的方法有效
| 申请号： | 201210046743.3 | 申请日： | 2012-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN103293865A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 林彬;段立峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种对工件台的位置误差进行预先补偿的方法，包括：在多个位置进行测量，根据测量结构计算支撑台的起伏对工件台高度和倾斜的影响，计算工件台侧面反射镜面形对工件台倾斜角度的影响，以及根据工件台的位置，利用得到的误差数据对工件台进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 位置 误差 测量 预先 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种对工件台的位置误差进行预先补偿的方法，包括下述步骤：步骤一、将工件台的垂向位置保持不变，将工件台沿水平方向设置到测量位置；步骤二、测量并记录工件台在所述测量位置的水平位置和倾斜角度，工件台移动至下一个测量位置；步骤三、判断是否所有测量位置都测量完毕，若是，则进入步骤四，否则返回步骤一；步骤四、根据支撑台起伏对工件台倾斜角度的影响，拟合得到支撑台起伏引入的高度误差的系数，计算由支撑台起伏引入的工件台的倾斜角度误差和高度误差；步骤五、基于测量到的工件台的倾斜角度和支撑台起伏引入的工件台的倾斜角度误差，计算方镜面形引入的工件台的倾斜角度误差；步骤六、保存所得的误差数据；步骤七、根据工件台的位置，利用得到的误差数据对工件台的垂向位置和倾斜角度进行补偿。
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