[发明专利]电弧沉积系统及其过滤器无效
| 申请号： | 201210022437.6 | 申请日： | 2012-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN102628159A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | K·邦度姆 | 申请（专利权）人： | 蒸汽技术公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 汤在彦 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电弧沉积系统及其过滤器，其主要是在真空电弧沉积系统中，电弧源过滤器设置在电弧阴极与衬底之间。所述过滤器包括围绕所述电弧源的多个导管元件。所述导管元件具有足够的空间维度来阻碍粒子。此外，所述导管元件具有电磁性质，这有助于等离子体通过所述过滤器进行传输。在通过所述过滤器时，高度电离电弧等离子体基本上清除了粒子，从而形成已反应以及未反应的涂层的源等离子体，所述涂层的特征在于，密度较高且几乎没有任何质量缺陷。此设计在过滤程度、涂层区长度以及电弧源选择方面具有一定灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 沉积 系统 及其 过滤器 | ||
【主权项】：
一种用于电弧沉积系统的过滤器，其特征在于，所述电弧沉积系统包括细长阴极、阳极和至少一个衬底，所述过滤器包括：偶数个导管组件，其围绕所述细长阴极对称地放置，所述导管组件定义用于引导等离子体的磁场，并且具有用于阻碍宏观粒子的阻挡部件。
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