[发明专利]一种光刻机化学品接口系统及其应用有效
| 申请号： | 201210014981.6 | 申请日： | 2012-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN102566314A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 何伟明;朱治国 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的光刻机化学品接口系统改进了硬件，在机台端长管顶部增加了可拆下的称钥匙圆环，钥匙圆环也带有突起与原设计内置突起一样；并增加了内置突起厚度。化学品瓶口设计为两个缺口一致的圆环：上部圆环、下部圆环，上部圆环可转动。更换化学品时，将钥匙圆环拆下插入上部圆环，当钥匙圆环的突起和上部圆环环缺口吻合，可用钥匙圆环旋转上部圆环，使之缺口和下部圆环缺口重合；移除钥匙圆环，机台端的长管可插入新的化学品瓶内，完成安装新的化学品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机化 接口 系统 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种光刻机化学品接口系统，其特征在于，包括连接化学品的瓶口，所述瓶口设计为两个上下相邻的同心圆环，上部圆环可以绕圆心旋转，上部圆环和下部圆环设有对齐的缺口，并且上部圆环的缺口连通下部圆环的缺口；还包括连接机台长管的长管顶部，所述长管顶部设有可拆下的钥匙圆环；钥匙圆环设有与所述同心圆环缺口相吻合的突起；所述长管顶部还包括内置突起圆环，内置突起圆环的内置突起与钥匙圆环的突起相同。
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