[发明专利]一种光刻机化学品接口系统及其应用

权利要求书

1.一种光刻机化学品接口系统，其特征在于，包括连接化学品的瓶口，所述瓶口设计为两个上下相邻的同心圆环，上部圆环可以绕圆心旋转，上部圆环和下部圆环设有对齐的缺口，并且上部圆环的缺口连通下部圆环的缺口；

还包括连接机台长管的长管顶部，所述长管顶部设有可拆下的钥匙圆环；钥匙圆环设有与所述同心圆环缺口相吻合的突起；

所述长管顶部还包括内置突起圆环，内置突起圆环的内置突起与钥匙圆环的突起相同。

2.根据权利要求1所述的光刻机化学品接口系统，其特征在于，所述突起高度大于上部圆环厚度。

3.根据权利要求2所述的光刻机化学品接口系统，其特征在于，所述突起高度与上部圆环和下部圆环深度之和相同。

4.根据权利要求1所述的光刻机化学品接口系统，其特征在于，所述钥匙圆环突起与上部圆环或下部圆环缺口数量相同。

5.根据权利要求1或4所述的光刻机化学品接口系统，其特征在于，所述上部圆环或下部圆环缺口数量为3~6个。

6.根据权利要求1所述的光刻机化学品接口系统，其特征在于，所述各突起的位置、尺寸不同。

7.一种使用权利要求1所述光刻机化学品接口系统进行化学品瓶与机台段长管的连接安装方法，其特征在于，将钥匙圆环从机台端长管顶部卸下，插入上部圆环中，钥匙圆环的突起与上部圆环通孔相吻合，使用钥匙圆环旋转上部圆环，使上部圆环的通孔与下部圆环凹槽对齐，证明化学品无误，移除钥匙圆环，机台端长管内置突起圆环的内置突起插入通孔和凹槽内，将长管插入化学品瓶内完成化学品瓶口与长管的对接安装。