[发明专利]一种光刻机化学品接口系统及其应用

说明书

技术领域

本发明涉及一种光刻机化学品接口，尤其涉及一种可以保证化学品更换无误的光刻机化学品接口系统、以及使用所述接口系统进行化学品更换的方法。

背景技术

光刻技术是集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术；光刻工艺是集成电路制造技术最核心的工序之一。随着集成电路制造往更小尺寸延伸，光刻技术已从常规光学技术发展到应用电子束、X射线、微离子束、激光等新技术；使用波长已从4000埃扩展到 0.1埃数量级范围。光刻技术已经成为一种精密的微细加工技术，并逐渐成为引领整个行业走向的风向标。正因为如此，光刻相关各个环节的技术研发也是各大公司关注的重点。

在半导体制造产业中，光刻工艺所用的化学品种类繁多，有光刻胶、抗反射材料、填充材料等等，每个制造公司就光刻胶而言就有二十几种甚至更多，而这些材料包装大同小异，只有瓶上的说明标签可区别。在使用更换这些化学品时，因人为因素容易更换错误，导致时间和成本上的浪费。每个制造公司都出过这样的事故。

目前为防止此类事故的发生，防止更换错误的化学品，人们对硬件上进行了改进，在化学品包装上增加了一种接口，不同的化学品接口（key code）不同，机台端长管顶部有一内置突起圆环，而在化学品瓶上是一带缺口的圆环，当长管插入瓶内后，内置突起和瓶上缺口吻合即化学品无误，完成安装。

但是，此种硬件防止措施并不完善，因为当机台端的长管插入瓶内后，发现接口对应不上，才能知晓化学品是否更换错误。一旦发现错误，瓶内的化学品污染了机台管路配件，需要对机台进行清洁，同时机台端的长管内的化学液体也污染了瓶内的化学品，导致机时和化学品成本上的巨大浪费。

发明内容

针对光刻机更换化学品过程中容易出现错误的问题，本发明提供了一种新型的光刻机化学品接口系统、以及使用该接口系统进行化学品更换的方法，在化学品接触前就能够进行确认化学品是否正确，安装和更换化学品前就有效的防止了错误的发生。

因此，本发明的目的是提供一种光刻机化学品接口系统，包括连接化学品瓶的瓶口、和连接机台端长管和长管顶部。

具体地，本发明光刻机化学品接口系统中，所述瓶口设计为两个上下相邻的同心圆环，上部圆环可以绕圆心旋转，上部圆环和下部圆环设有对齐的缺口，并且上部圆环的缺口连通下部圆环的缺口；所述长管顶部设有可拆下的钥匙圆环；钥匙圆环设有与所述同心圆环缺口相吻合的突起；所述长管顶部还包括内置突起圆环，内置突起圆环的内置突起与钥匙圆环的突起相同。

其中，所述钥匙圆环突起厚度最好大于上部圆环的厚度，这样突起可以插入下部圆环的缺口内，最优选地，突起厚度等于上部圆环和下部圆环缺口的深度之和。

原则上，突起的数量可以比上部圆环或下部圆环缺口数量较少，但是本发明最优选地，突起的数量可以比上部圆环或下部圆环缺口数量相同。

其中，上部圆环或下部圆环缺口数量优选为3~6个。

原则上，所述各突起的粗细和长度尺寸可以相同或不同，但与对应缺口的粗细和长度尺寸相同。

本发明的第二个目的是提供一种使用上述光刻机化学品接口系统进行化学品瓶与机台段长管的连接安装方法。

所述方法步骤包括：将钥匙圆环从机台端长管顶部卸下，插入上部圆环中，钥匙圆环的突起与上部圆环通孔相吻合，使用钥匙圆环旋转上部圆环，使上部圆环的通孔与下部圆环凹槽对齐，证明化学品无误，移除钥匙圆环，机台端长管内置突起圆环的内置突起插入通孔和凹槽内，将长管插入化学品瓶内完成化学品瓶口与长管的对接安装。

本发明提供的光刻机化学品接口系统改进了硬件，在机台端长管顶部增加了可拆下的称钥匙圆环，钥匙圆环也带有突起与原设计内置突起一样；并增加了内置突起厚度。化学品瓶口设计为两个缺口一致的圆环：上部圆环、下部圆环，上部圆环可转动。更换化学品时，将钥匙圆环拆下插入上部圆环，当钥匙圆环的突起和上部圆环缺口吻合，可用钥匙圆环旋转上部圆环，使之缺口和下部圆环缺口重合，即证明化学品无误，移除钥匙圆环，机台端的长管可插入新的化学品瓶内，内置的突起通过上部圆环、下部圆环缺口可插到底，完成安装新的化学品。该设计相当于先用一把钥匙打开瓶子，在化学品接触前就进行确认是否正确，安装和更换化学品前就有效的防止了错误的发生。

附图说明

图1为本发明光刻机化学品接口系统钥匙圆环结构示意图；

图2为本发明光刻机化学品接口系统瓶口俯视结构示意图；