[实用新型]一种化学气相沉积尾气处理装置

摘要

本实用新型涉及一种气体处理过滤装置，特别涉及一种化学气相沉积尾气处理装置。处理装置包括一级空气冷却罐、二级空气冷却罐、循环式油过滤罐、丝网过滤罐、活性炭过滤罐。一级空气冷却罐与化学气相沉积炉之间用密闭金属管道连接，一级空气冷却罐与二级空气冷却罐、循环式油过滤罐、丝网过滤罐、活性炭过滤罐依次密闭金属管道连接，一级空气冷却罐、二级空气冷却罐、循环式油过滤罐、丝网过滤罐、活性炭过滤罐的下方均设有排泄口，每个罐均采用下进气上出气的结构。本实用新型采用了多个滤罐分开过滤不同的尾气产物，过滤尾气时逐级冷却、不同罐体过滤不同种类的气体和微粒子，该装置功能强大、过滤效果高，使用寿命长。

主权项

一种化学气相沉积尾气处理装置，其特征在于：处理装置包括一级空气冷却罐(1)、二级空气冷却罐(2)、循环式油过滤罐(3)、丝网过滤罐(4)、活性炭过滤罐(5)，一级空气冷却罐(1)与化学气相沉积炉(6)之间用密闭金属管道连接，一级空气冷却罐(1)与二级空气冷却罐(2)、循环式油过滤罐(3)、丝网过滤罐(4)、活性炭过滤罐(5)依次与密闭金属管道连接，一级空气冷却罐(1)、二级空气冷却罐(2)、循环式油过滤罐(3)、丝网过滤罐(4)、活性炭过滤罐(5)的下方均设有排泄口，每个罐均采用下进气上出气的结构。