[实用新型]靶材有效
| 申请号： | 201120184284.6 | 申请日： | 2011-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN202157111U | 公开（公告）日： | 2012-03-07 |
| 发明（设计）人： | 费伟 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材，该靶材包括：靶材本体；设置在靶材本体上的预设位置处的凸起。本实用新型所提供的靶材，由于在靶材本体的预设位置处设置有凸起，所述凸起可增加预设位置处的厚度，所述预设位置对应在溅射过程中受高能量粒子撞击比较严重的位置，因此，在预设位置处设置凸起可延长所述预设位置处的靶材承受高能量粒子撞击的时间，使得此处不会轻易被撞击形成凹坑，进而可延长该靶材的使用寿命。除此之外，该靶材在寿命耗尽时，其上剩余的靶材材料较少，进而避免了靶材材料的浪费，节省了工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 | ||
【主权项】：
一种靶材，其特征在于，包括：靶材本体；设置在靶材本体上的预设位置处的凸起。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司，未经无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120184284.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种金刚石表面金属化处理的金刚石工具-201821241729.8
- 王晓荣;黄梓杰;王政 - 泉州众志金刚石工具有限公司
- 2018-08-02 - 2019-10-18 - C23C14/14
- 本实用新型公开一种金刚石表面金属化处理的金刚石工具，包括相互结合一体的金刚石覆膜体和胎体粉末；其中胎体粉末为特定金属系列的预合金粉末，该特定金属包括至少两种金属成分；金刚石覆膜体包括金刚石和镀覆在该金刚石上的镀膜层，该镀膜层包括直接包裹在金刚石表面上的钛膜和包裹在钛膜上的除钛金属之外的至少一层金属膜，该至少一层金属膜对应的金属从上述至少两种金属成分中选择。本新型对金刚石表面进行不同金属的镀膜设计，能够改善金刚石与金属胎体之间的结合力，以提高结合剂胎体对金刚石的把持力，提高金刚石的有效利用率，改善工具的锋利度和寿命等性能。
- 一种锥形光纤SERS探针的制备方法-201811342587.9
- 刘晔;周飞;王红成;凌东雄 - 东莞理工学院
- 2018-11-13 - 2019-10-11 - C23C14/14
- 本发明公开了一种锥形光纤SERS探针的制备方法，涉及表面增强拉曼散射光谱领域。所述制备方法包括：将贵金属纳米薄膜镀于锥形光纤结构的光纤锥面；利用激光耦合单元，将飞秒激光耦合至镀有贵金属纳米薄膜的锥形光纤中；锥形光纤结构中传输的飞秒激光与镀于光纤锥面的贵金属纳米薄膜发生相互作用，贵金属纳米薄膜吸收飞秒激光的激光能量并转换为自身热量，贵金属纳米薄膜经历绝热高温退火过程，从而在光纤锥面形成分散的贵金属纳米颗粒，实现光纤SERS探针的制备。本发明所提供的飞秒激光制备方法能够解决现有连续光制备光纤SERS探针时面临的光热积累或损伤的问题；且通过将飞秒激光耦合至光纤中传输，解决现有飞秒激光技术难以制备锥形光纤SERS探针的问题。
- 一种物理气相沉积法制备黑色碳化铬硅绝缘复合涂层的方法-201910546954.5
- 施正彪;郑国宝 - 精研（东莞）科技发展有限公司
- 2019-06-24 - 2019-09-06 - C23C14/14
- 本发明公开了一种物理气相沉积法制备黑色碳化铬硅绝缘复合涂层的方法，其包括除油清洗步骤、底层制备步骤、过渡缓冲层制备步骤、加硬耐磨膜层制备步骤、颜色绝缘层制备步骤、冷却出炉步骤；其中，除油清洗步骤包括有通用除油清洗剂溶液浸泡清洗处理步骤、于酒精中超声波清洗处理步骤、于100℃超纯水中慢拉脱水处理步骤、烘烤步骤。通过上述工艺步骤设计，本发明的物理气相沉积法制备黑色碳化铬硅复合涂层的方法所制备而成的黑色碳化铬硅复合涂层具有耐腐蚀性强、抗氧化性好的优点，同时其区别于常见的黑色膜层就是具有绝缘性不导电，很好的满足产品绝缘性能要求，在3C产品中的应用具又广泛前景。
- 一种新型真空镀铝机-201821221965.3
- 徐杨 - 江苏彩虹新材料有限公司
- 2018-07-31 - 2019-08-30 - C23C14/14
- 本实用新型公开了一种新型真空镀铝机，包括真空镀铝机箱体、观察窗、进气口、真空泵、排气口、显示屏、滚轮、环形蒸发室、电源连接线、坩埚、加热丝、加热管、激光射线口、惰性气体、靶材、基片、高能激光器、尾气净化器、二级净化滤板、后板、除尘滤网、加湿滤网和气体反应盒，所述真空镀铝机箱体上设置有观察窗，所述真空镀铝机箱体右侧设置有真空泵，所述真空泵一侧设置有进气口，所述真空泵上设置有显示屏，所述真空镀铝机箱体底端设置有滚轮，所述真空镀铝机箱体内设置有环形蒸发室，所述环形蒸发室一侧设置有电源连接线，所述环形蒸发室上设置有加热管，该种新型真空镀铝机将高能激光器与环形蒸发室合二为一，提高了镀膜的效率与质量。
- 一种采用真空离子镀工艺方法实现镀层全覆盖的接地带-201910462029.4
- 谢华;侯涛;张照宇;张婷 - 沈阳富创精密设备有限公司
- 2019-05-30 - 2019-08-20 - C23C14/14
- 本发明公开一种采用真空离子镀工艺方法实现镀层全覆盖的接地带，接地带具有基材，在基材外围形成扩散层，在扩散层外围设有镀膜层。加工方法包括如下步骤：(1)通过真空离子镀工艺方法在薄片基材表面镀膜；(2)镀膜实现薄片基材六面全覆盖，无裸露；(3)表面镀膜层与基材之间产生扩散层。实现外表面镀层全覆盖薄片基材，并且镀层与基材之间有一定的扩散层，进一步增加镀层与基材之间的结合力，延长产品的使用寿命。
- 一种钼掺杂二氧化钛纳米管阵列薄膜的制备方法-201910474490.1
- 沈杰;罗杰;崔晓莉;李忠;尹延林 - 复旦大学
- 2019-06-03 - 2019-08-16 - C23C14/14
- 本发明涉及一种钼掺杂二氧化钛纳米管阵列薄膜的制备方法，所述制备方法先后采用磁控溅射法和阳极氧化技术，钼掺杂浓度通过溅射靶的钼、钛的原子浓度比来调节，纳米管尺寸和长度由阳极氧化技术控制；具体步骤为：清洗基板；在清洗后的基板上使用磁控溅射法沉积MoTi合金膜；控制基板温度为室温~300℃；采用氩气，控制真空室内气压为0.1~2.5 Pa，溅射功率密度为1.7~177 kW/m2；将制备得到的MoTi合金膜在电解液中采用阳极氧化技术得到钼掺杂二氧化钛纳米管阵列薄膜；将钼掺杂二氧化钛纳米管阵列薄膜进行退火处理。本发明方法具有工业生产前景，实验重复性好，是一种制备优异光电转换性的Mo掺杂TiO2纳米管阵列薄膜的新方法。
- 一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法-201711286235.1
- 毛遂;唐建国;黄林军;王薇;王彦欣 - 青岛大学
- 2017-12-07 - 2019-08-09 - C23C14/14
- 本发明公开了一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法，该制备方法的特征是在贵金属纳米颗粒的制备中使用了In合金共熔固态结晶的生长方式和热升华解元In组分的两步加工工艺，本发明旨在利用In的低熔点和低表面扩散活化能，降低贵金属纳米颗粒的制备温度，拓宽基于物理气相淀积的贵金属纳米颗粒的应用范围。该方法的优点在于，能够将贵金属纳米颗粒的制备温度降低50～300℃，并通过控制In在合金中的比例，调节贵金属纳米颗粒的大小和密度，简单高效，能够集成于半导体器件的加工工艺之中。
- 蓝色复合薄膜及其制备方法-201710509877.7
- 陈国远 - 维达力实业（深圳）有限公司
- 2017-06-28 - 2019-07-02 - C23C14/14
- 本发明涉及一种蓝色复合薄膜及其制备方法。该蓝色复合薄膜包括：层叠于基材表面的打底层，该打底层的材料包括第一金属材料和/或第一半导体材料；层叠于所述打底层之上的硬质层，该硬质层的材料为第二金属材料和/或第二半导体材料掺杂的TiAl氮化物或TiAl氮碳化物；层叠于所述硬质层之上的颜色控制层，该颜色控制层的材料为第三金属材料和/或第三半导体材料掺杂的TiAl氮化物或TiAl氮碳化物。该蓝色复合薄膜在带有弯曲面或是3D面的产品中仍能够保持稳定、均匀的颜色，且具备层间结合力好、耐摩擦、高硬度、低摩擦系数、耐腐蚀、抗氧化、化学稳定及光洁度好的优点。
- 一种基于PVD技术的高纯块体金属纳米材料及其制备方法和应用-201910073449.3
- 陈汪林;颜安;王成勇;李炳新 - 广东工业大学
- 2019-01-25 - 2019-05-28 - C23C14/14
- 本发明涉及一种基于PVD技术的高纯块体金属纳米材料及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤：S1：将基片设置于PVD设备转架上，控制靶材工作面与基片正对，且两者的距离为7~50 cm；S2：控制靶材电流密度为150~300 A，基体偏压为0~‑40 V，氮气流量为0 sccm，沉积时间10~30 h，即得所述高纯块体金属纳米材料。本发明通过优化靶材与基片之间的间距、靶材电流密度、基体偏压、沉积时间和氮气流量调为0 sccm等核心工艺参数，使得基体负变压作用，实现了高纯块体金属纳米材料的制备；制备得到的高纯块体金属纳米材料组织致密，纯度高、硬度和强度高，断裂韧性好，力学性能优异。
- 基于银合金的溅射靶-201580039358.8
- M.施洛特;A.赫佐格;T.肖勒;U.科尼茨卡 - 万腾荣高新材料德国有限责任公司
- 2015-07-10 - 2019-05-28 - C23C14/14
- 本发明涉及一种溅射靶，其包含银合金，所述银合金基于银合金的总量包含5至25‑重量％的钯，并且具有在25至90μm范围内的平均颗粒尺寸。
- 一种铝旋转靶材及其制造方法-201910041672.X
- 周志宏;肖世洪;雷雨;肖世文;沈艳斌;周昭寅 - 广州市尤特新材料有限公司
- 2019-01-16 - 2019-05-03 - C23C14/14
- 本发明提出了一种铝旋转靶材的制造方法，包括S1、制造平均粒径D50为10‑80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。本发明制造铝旋转靶材的制造工艺简单，制造得到的铝旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95‑99％，而氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。
- 一种高磁性材料的制备方法-201811655243.3
- 鲁智斌;易家保;赵凤 - 合肥朗锐环境工程有限公司
- 2018-12-29 - 2019-04-30 - C23C14/14
- 本发明公开了一种高磁性材料的制备方法，涉及一种高磁性材料的制备方法，主要应用于磁性材料领域的应用。所要解决的技术问题是把纳米颗粒和磁性材料母体结合起来，制备高磁化强度材料。其技术要点是：磁性纳米颗粒镶嵌在磁性母体之中，在制备过程当中或制备磁性母体后通过退火生成，退火同时加入磁场，将增加磁性纳米和磁性母体之间的相互作用，增加居里点及磁化强度，退火的最佳温度随着材料的不同将不同。材料制备简单，采用磁控溅射法、水热法和热分解法都可以制备高性能的材料，本材料的发明可以为在磁性材料在传感器，磁存储，变压器，通讯，无线充电领域的应用提供新的材料选择。
- 用于蒸发器源的承载器装置-201811574378.7
- G·乌尔温登;E·格罗斯;U·恩勒特;A·索格;A·斯特劳布;P·冯比斯马克;M·皮施;L·科诺斯;A·马里恩菲尔德 - NICE太阳能有限责任公司;巴登符腾堡太阳能和氢能源研究中心(ZSW)
- 2015-05-20 - 2019-04-12 - C23C14/14
- 本发明涉及一种自承式承载器装置，其用于蒸发器源(10)，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理，其中，所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84)，其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85)，所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中，并且其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成。此外，本发明涉及一种蒸发器装置，其具有所述类型的承载器装置和布置在其中的蒸发器源(10)。
- 一种车灯镀铝装置-201821243362.3
- 吕刚 - 上饶市谨之微科技有限公司
- 2018-08-01 - 2019-04-12 - C23C14/14
- 本实用新型公开了一种车灯镀铝装置，包括底座和真空罐，其中：所述真空罐固定安装在底座上，真空罐内通过轴承固定安装有转轴，转轴上固定焊接有固定杆，固定杆另一端固定安装有固定座，转轴底端穿过真空罐与电机的输出轴固定连接，电机固定安装在底座内，真空罐顶部设有铝环和高压铝板。本实用新型通过在固定座上设置座模，便于将车灯固定在真空罐内，可以大大提高车灯放入的速度以及固定效果，从而提升产品质量；通过设置三层固定杆，可以满足一次性将多个车灯进行镀铝作业，提高生产效率。
- 一种蒸发镀膜用材料的清洗方法-201811508263.8
- 薛宏宇;张巧霞;王绍帅;郭姗姗;宋艳青;张晓娜;陈明;焦向琨 - 有研亿金新材料有限公司
- 2018-12-11 - 2019-03-15 - C23C14/14
- 本发明属于电子信息技术领域，具体涉及一种蒸发镀膜用材料的清洗方法，该方法如下步骤：1)对材料进行酸洗及漂洗；2)对步骤1)所得材料进行自磨抛操作；3)对步骤2)所得材料进行洁净清洗操作；4)将步骤3)所得材料烘干。本方法清洗后的蒸发材料洁净度高，不影响蒸发材料杂质元素的检测，可以保证蒸发镀膜能工艺的稳定进行。
- 一种超声波加热装置-201820869734.7
- 何建进 - 苏州精美科光电材料有限公司
- 2018-06-06 - 2019-02-05 - C23C14/14
- 本实用新型公开了一种超声波加热装置，包括立柱和工作台，所述工作台的底部连接有立柱，且工作台的下方与立柱的连接处内侧设置有存物室，所述工作台的一侧边焊接有安装块，所述安装块的顶端通过螺栓固定连接有固定底柱，所述固定底柱的外部套接有刷头固定块，在超声波加热装置上设置有超声波仪和刷头，利用开关控制超声波仪进行工作，超声波仪发射出一种频率高于20000赫兹的声波，它的方向性好，穿透能力强，易于获得较集中的超声波，然后将这种超声波通过超声波刷头传递到已经加热好的工件上，这时通过超声波刷头传递到工件上的超声波是为了刷铟时产生超声波震荡，使得铟层在超声波震荡下均匀的涂布在工件表面，同时增加铟层的附着力。
- 一种SmCo合金磁致伸缩薄膜的制备方法-201610475905.3
- 赵世峰;白玉龙;赵怀亮;邬新 - 内蒙古大学
- 2016-06-27 - 2019-01-15 - C23C14/14
- 一种SmCo合金磁致伸缩薄膜的制备方法，以金属合金Sm2Co17靶做为溅射靶材，通过团簇束流沉积系统的直流磁控溅射产生高密度SmCo合金原子气，在缓冲区中与氩气持续碰撞逐渐生长成团簇，依次通过第一级喷嘴、第二级气压差分系统、第二级喷嘴、第三级气压差分系统和第三级喷嘴，在衬底上进行沉积，沉积结束后原位退火。本发明制备的SmCo合金磁致伸缩薄膜，颗粒尺寸均一，颗粒的尺寸控制在小于合金单磁畴临界尺寸，薄膜具有优异的磁学特性，磁致伸缩效应明显，在6400Oe的磁场下，磁致伸缩系数为92×10‑6，在700K温度下原位退火后，磁致伸缩系数为145×10‑6。
- 一种防腐镀层的制备方法-201811156926.4
- 常玉琦;王金平;于高奇;田伟红 - 西安航空制动科技有限公司
- 2018-09-30 - 2019-01-11 - C23C14/14
- 一种防腐镀层的制备方法，通过真空离子镀技术、喷丸技术、化学转化技术及憎水处理技术，制备出一种能够避免高强度材料产生氢脆、能够解决高强度材料与有色金属的接触腐蚀、具有不同外观颜色的防腐镀层，用于解决航空航天等武器装备零件中高强度材料的氢脆以及与有色金属接触腐蚀问题，对零件表面进行离子镀铝、喷丸、化学转化及憎水处理的方式进行表面防护，达到防护要求，制备出能够避免高强度材料产生氢脆、能够解决高强度材料与有色金属的接触腐蚀、具有不同外观颜色的防腐镀层，以解决航空航天等武器装备零件中高强度材料的氢脆以及与有色金属接触腐蚀问题。
- 一种独立金属薄膜制备方法及金属薄膜-201810753153.1
- 龚国华;何江 - 深圳通感微电子有限公司
- 2018-07-10 - 2019-01-04 - C23C14/14
- 本发明涉及一种独立金属薄膜制备方法及金属薄膜，该方法包括：S1、旋涂转移涂层：选择表面满足光学级平整度的衬底，对衬底进行清洗烘干并在衬底表面上旋涂转移涂层；S2、固化：蒸发并冷却旋涂转移涂层后的衬底，以固化转移涂层；S3、沉积：选用金属材料，在固化的转移涂层表面沉积以生成预设厚度的金属薄膜；S4、剥离：在常温下将带有金属薄膜的衬底置于可溶解转移涂层的有机溶剂中，以分离金属薄膜；S5、转移：保持金属薄膜为展开状态并转移金属薄膜至无氧条件下烘干，以得到最终的独立金属薄膜。实施本发明能够获取满足要求的独立金属薄膜制备，方法简单易行，且成本低。
- 一种超吸收Ag-Au纳米结构表面复合薄膜及其制备方法-201810807194.4
- 甘巧强;付博文;宋云;孙大林 - 复旦大学
- 2018-07-21 - 2019-01-04 - C23C14/14
- 本发明属于薄膜制备技术领域，具体为超吸收Ag‑Au纳米结构表面复合薄膜及其制备方法。本发明首先采用常规镀膜方法，在衬底上依次生长Ag、Al2O3以及Ag；随后进行一次退火处理；冷却至室温后，再生长一层Au膜，并进行二次退火；其中，最外层的金属膜经退火后形成Ag‑Au纳米颗粒。本发明通过两次退火过程，使薄膜应力发生变化形成岛状结构，制备出不同形貌的金属颗粒。其中，最外层的金属膜经退火后成为Ag‑Au纳米颗粒，可增强对光的吸收能力。本发明制备的复合薄膜可以作为表面增强拉曼散射的基底，具有吸收能力强、吸光范围广、稳定性好、均匀性好、寿命长等特点，可用于多种生物化学物质的检测。
- 用于蒸发器源的承载器装置-201580026919.0
- G·乌尔温登;E·格罗斯;U·恩勒特;A·索格;A·斯特劳布;P·冯比斯马克;M·皮施;L·科诺斯;A·马里恩菲尔德 - 曼兹铜铟镓硒技术公司;巴登符腾堡太阳能和氢能源研究中心(ZSW)
- 2015-05-20 - 2019-01-04 - C23C14/14
- 本发明涉及一种自承式承载器装置，其用于蒸发器源(10)，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理，其中，所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84)，其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85)，所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中，并且其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成。此外，本发明涉及一种蒸发器装置，其具有所述类型的承载器装置和布置在其中的蒸发器源(10)。
- 反射电极用或布线电极用Ag合金膜、反射电极或布线电极、和Ag合金溅射靶-201480035394.2
- 志田阳子;后藤裕史;越智元隆 - 株式会社神户制钢所
- 2014-06-11 - 2018-12-14 - C23C14/14
- 一种显示出低电阻率和高反射率，并且对于UV照射、O2等离子体处理等的清洗处理的耐氧化性优异的反射电极或布线电极所用的Ag合金膜，其中，含有In高于2.0原子％且2.7原子％以下、Bi 0.01～1.0原子％。
- 一种大面积和图形化过渡金属硫化物薄膜的制备方法-201810809941.8
- 刘丰奎;谭仁兵;陈恒杰;阳廷义;樊玉勤;方旺 - 重庆科技学院
- 2018-07-23 - 2018-11-30 - C23C14/14
- 本发明公开了一种大面积过渡金属硫化物薄膜的制备方法，大面积制备方法包括如下步骤：1)将过渡金属通过镀膜工艺沉积到衬底上形成过渡族金属薄膜；2)对过渡族金属薄膜进行硫化反应；所述过渡金属硫化物化学式为AB2，其中A为过渡族金属元素，B为硫族元素。本发明还公开了一种图形化过渡金属硫化物薄膜的制备方法。发明利用镀膜技术，通过沉积一定厚度的过渡金属薄膜到衬底上，然后利用熔融状态蒸发的硒原子在一定的温度和压强下与沉积的铂金属反应，最终得到厚度可调的大面积、图形化的二硒化铂薄膜。这种方法简单易行，制备出的二硒化铂具有较高的电导率。工艺与现代半导体加工工艺兼容，在光电器件、传感器件以及光催化方面具有广泛的应用前景。
- 一种土豪金颜色PVD薄膜-201820506831.X
- 杜旭颖;阮志明;王大洪;曾德强;庞文峰 - 深圳市正和忠信股份有限公司
- 2018-04-11 - 2018-11-20 - C23C14/14
- 本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种基于物理气相沉积(PVD)技术制成的土豪金颜色PVD薄膜。所述土豪金颜色PVD薄膜沉积于基材表面，由基材表面从下往上依次包括：底层，所述底层为钛金属镀层；过渡层，所述过渡层为钛合金镀层；第一功能层，所述第一功能层为钛合金氮化物镀层；第二功能层，所述第二功能层为钛合金氮化物镀层；颜色层，所述颜色层为钛合金碳氮化物镀层。所述土豪金颜色PVD薄膜的膜厚为1～5um，颜色L＝70～76，a＝1.5～3.5，b＝14～20，硬度：1500～2500HV，具有亮度高、红度合适、黄度高、耐腐蚀、耐磨、膜层均匀的特点，工艺稳定性及一致性较好。
- 一种黑色导电PVD薄膜-201820506832.4
- 杜旭颖;阮志明;王大;曾德强;庞文峰 - 深圳市正和忠信股份有限公司
- 2018-04-11 - 2018-11-20 - C23C14/14
- 本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种基于物理气相沉积(PVD)技术制成的黑色导电PVD薄膜。所述黑色导电PVD薄膜沉积于基材表面，所述黑色导电PVD薄膜由基材表面从下往上依次包括：底层，所述底层为单一金属底层；第一过渡层，所述第一过渡层为钨合金镀层；第二过渡层，所述第二过渡层为钨合金碳化物镀层；功能层，所述功能层为导电碳化物镀层；颜色层，所述颜色层为导电混合镀层。所述黑色导电PVD薄膜的方块电阻为10～2000(Ω/sq)，膜厚1～5um，颜色L＝28～40，a＝‑0.3～0.3，b＝‑1～1，硬度：500～1500HV，具有表面光滑细腻，耐腐蚀、耐候性、耐磨擦性能优异、电阻低的特点。
- 一种金刚石表面金属化处理的金刚石工具及其制备方法-201810872868.9
- 王晓荣;黄梓杰;王政 - 泉州众志金刚石工具有限公司
- 2018-08-02 - 2018-11-16 - C23C14/14
- 本发明公开一种金刚石表面金属化处理的金刚石工具及其制备方法，包括以下步骤：1)选定金刚石工具胎体，该胎体为特定金属系列的预合金粉末，该特定金属包括至少两种金属成分；2)对金刚石表面先进行钛粉镀膜处理，之后进行除钛金属之外的至少一种金属的依序镀膜处理，该至少一种金属从上述至少两种金属成分中选择；3)将完成镀膜处理的金刚石与选定的金刚石工具胎体混合，形成需要的混合料；4)将混合料热压烧结，生产得本案金刚石工具。本发明技术对金刚石表面进行不同金属的镀膜处理，能够改善金刚石与金属胎体之间的结合力，以提高结合剂胎体对金刚石的把持力，提高金刚石的有效利用率，改善工具的锋利度和寿命等性能。
- 高折射率氢化硅薄膜的制备方法、高折射率氢化硅薄膜、滤光叠层和滤光片-201711061130.6
- 张睿智;唐健;王迎;余辉;陆张武;徐征驰;张启斌 - 浙江水晶光电科技股份有限公司
- 2017-11-01 - 2018-10-30 - C23C14/14
- 本发明公开了一种高折射率氢化硅薄膜的制备方法、高折射率氢化硅薄膜、滤光叠层和滤光片，涉及光学薄膜技术领域。该包括以下步骤：(a)通过磁控Si靶溅射，在基体上沉积Si，形成硅薄膜；(b)硅薄膜在含有活性氢和活性氧的环境中形成含氧的氢化硅薄膜，活性氧的数量占活性氢和活性氧总数量的4～99％，或，硅薄膜在含有活性氢和活性氮的环境中形成含氮的氢化硅薄膜，活性氮的数量占活性氢和活性氮总数量的5～20％。本发明将溅射与反应分开进行，先通过磁控Si靶溅射，在基体上沉积Si，再通过活性氢和活性氧/氮的等离子体与硅发生反应获得含氧或含氮SiH，不仅避免靶材中毒问题，而且SiH薄膜具有较高的折射率和较低的吸收。
- 一种汽车防晒罩加工用真空镀铝机-201810178016.X
- 王键 - 海宁市现代汽车座套有限公司
- 2018-03-03 - 2018-08-24 - C23C14/14
- 本发明公开了一种汽车防晒罩加工用真空镀铝机，包括真空镀铝机主体、真空仓、干燥袋、安装板、压板、导电板、导线、螺杆和冷却管，真空仓内部上方设置有多孔隔板，多孔隔板上方设置有干燥袋，动力箱一侧安装有支架，安装板上部一侧安装有放卷滚筒，导向辊一侧设置有压板，导电板一侧连接有导线，定位块顶面中部均贯穿有螺杆，凹槽内部镶嵌有冷却管，压平辊上方设置有收卷滚筒，本发明利用干燥袋吸收水蒸气，调节螺杆，改变压板位置，压紧需镀铝的材料，再利用压平辊压平，镀铝膜不容易起皱，有利于后续加工，利用压板底面的导电板导出静电，并利用冷却管对压板进行冷却，提高镀铝膜的质量。
- 紫外线反射膜和溅射靶-201680069937.1
- 吉田慎太郎;奥野博行;中井淳一 - 株式会社钢臂功科研
- 2016-10-28 - 2018-08-21 - C23C14/14
- 提供一种通过将构成紫外线反射膜的稀土类元素、Cu和其余的Al的量、以及稀土类元素与Cu的比率控制在规定的范围，从而波长254nm的紫外线的反射率为85％以上的紫外线反射膜。一种紫外线反射膜，其含有一种或两种以上的稀土类元素：0.2at％以上且3.0at％以下，和Cu：0.2at％以上且6.0at％以下中的任意一者，余量由Al和不可避免的杂质构成，满足下述(1)式，波长254nm的紫外线的反射率为85％以上。X+0.5Y＜3.5…(1)[X是稀土类元素的量[at％]，Y是Cu的量[at％]。]。
- 一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法-201610436708.0
- 田野;罗飞;刘大博;祁洪飞;滕乐金 - 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院
- 2016-06-17 - 2018-08-03 - C23C14/14
- 本发明涉及智能薄膜材料领域，具体涉及一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法。本发明利用磁控溅射方法制备金属钒膜，随后将金属钒膜放入通有氮气的敞口管式炉中进行高温退火处理，保温一定时间后快速取出冷却。该方法无需复杂的真空热处理设备，通过简单的氧化反应，即可获得所需的二氧化钒薄膜。其过程工艺简单可控，所制备的薄膜晶粒尺寸均匀并且细小，相变特性明显，为二氧化钒薄膜材料提供了一种低成本、短周期、可工业化实施的新技术。
- 专利分类
