[发明专利]硅片切割废砂浆中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法有效
| 申请号： | 201110460682.0 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103183349A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 杨长剑;莘双银;周君;支田田 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/36 | 分类号： | C01B31/36;C10M175/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 314117 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法，将硅片切割废砂浆与水混合后进行第一级固液分离，将第一级固体颗粒经水稀释后进行第二级固液分离，将第二级悬浮液回用于上述混合，将第二级固体颗粒经第一级水洗后进行第三级离心分离，将第三级离心液回用于上述稀释，将第三级离心固体颗粒经第二级水洗后进行第四级离心分离，将第四级离心液回用于第一级水洗，将第四级离心固体颗粒经干燥、筛选后得到碳化硅；将第一级悬浮液进行过滤、脱色和树脂交换后，依次进行减压蒸馏和薄膜蒸发，得到聚乙二醇切割液、减压蒸馏水和薄膜蒸发水，所述减压蒸馏水用于第二级水洗，所述薄膜蒸发水用于第一级水洗。该回收方法显著降低污水的污染程度，利于环保。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 砂浆 碳化硅 聚乙二醇 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片切割废砂浆中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法，包括以下步骤：将硅片切割废砂浆与水混合后进行第一级固液分离，得到第一级悬浮液和第一级固体颗粒；将所述第一级固体颗粒经水稀释后进行第二级固液分离，得到第二级悬浮液和第二级固体颗粒；将所述第二级悬浮液回用于混合所述硅片切割废砂浆，将所述第二级固体颗粒经第一级水洗后进行第三级离心分离，得到第三级离心液和第三级离心固体颗粒；将所述第三级离心液回用于稀释所述第一级固体颗粒，将所述第三级离心固体颗粒经第二级水洗后进行第四级离心分离，得到第四级离心液和第四级离心固体颗粒；将所述第四级离心液回用于所述第一级水洗，将所述第四级离心固体颗粒经干燥、筛选后得到碳化硅；将所述第一级悬浮液进行过滤、脱色和树脂交换后，依次进行减压蒸馏和薄膜蒸发，得到聚乙二醇切割液、减压蒸馏水和薄膜蒸发水，所述减压蒸馏水用于所述第二级水洗，所述薄膜蒸发水用于所述第一级水洗。
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