[发明专利]使用用于去除导电材料的组合物制造阵列基板的方法有效
| 申请号： | 201110455538.8 | 申请日： | 2006-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102605373A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 宋桂灿;金钟一;李坰默;曺三永;申贤哲;金南绪 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙海龙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 使用用于去除导电材料的组合物制造阵列基板的方法。该组合物包括3wt％至15wt％的硝酸、40wt％至70wt％的磷酸、5wt％至35wt％的醋酸、0.05wt％至5wt％的氯化物、0.01wt％至5wt％的氯稳定剂、0.01wt％至5wt％的pH稳定剂、以及剩余量的水，该方法包括以下步骤：通过使用所述组合物蚀刻第一金属层而在基板上形成栅极；在所述栅极上形成栅绝缘层；在所述栅绝缘层上形成半导体层；通过使用所述组合物蚀刻第二金属层而在所述半导体层上形成源极和漏极；在所述源极和漏极上形成钝化层，该钝化层具有使所述漏极露出的接触孔；以及通过使用所述组合物蚀刻第三金属层而在所述钝化层上形成像素电极。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 用于 去除 导电 材料 组合 制造 阵列 方法 | ||
【主权项】：
一种使用用于去除导电材料的组合物制造用于液晶显示装置的阵列基板的方法，该组合物包括3wt％至15wt％的硝酸、40wt％至70wt％的磷酸、5wt％至35wt％的醋酸、0.05wt％至5wt％的氯化物、0.01wt％至5wt％的氯稳定剂、0.01wt％至5wt％的pH稳定剂、以及剩余量的水，该方法包括以下步骤：通过使用所述组合物蚀刻第一金属层而在基板上形成栅极；在所述栅极上形成栅绝缘层；在所述栅绝缘层上形成半导体层；通过使用所述组合物蚀刻第二金属层而在所述半导体层上形成源极和漏极；在所述源极和漏极上形成钝化层，该钝化层具有使所述漏极露出的接触孔；以及通过使用所述组合物蚀刻第三金属层而在所述钝化层上形成像素电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乐金显示有限公司，未经乐金显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110455538.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
