[发明专利]一种气相沉积用多层制品支架及化学气相沉积反应室

摘要

本发明涉及一种气相沉积用多层制品支架及化学气相沉积反应室。多层制品支架包括由圆套筒、布气盘和支杆组成的单元层；所述单元层的结构是布气盘置于圆套筒上，支杆直立固定在布气盘上用于支撑待涂基板，在一个单元的布气盘上放置另一个单元层的圆套筒；圆套筒壁的上部对称设有两个凹口便于气体流通。所述化学气相沉积反应室是将多层制品支架置于腔体内进气口上的进气布气板上，进气口位于反应室底部，出气口与进气口相对位于反应室的顶部。利用本发明多层制品支架生产的涂层产品质量均匀一致，数量几倍增长，提高了生产的效率。

主权项

一种化学气相沉积用多层制品支架，其特征在于包括由圆套筒、布气盘和支杆组成的单元层；所述单元层的结构是布气盘置于圆套筒上，支杆直立固定在布气盘上用于支撑待涂基板，在一个单元的布气盘上放置另一个单元层的圆套筒；其中，所述圆套筒壁的上部对称设有两个凹口便于气体流通；所述支杆有一尖端。