[发明专利]一种气相沉积用多层制品支架及化学气相沉积反应室

权利要求书

1.一种化学气相沉积用多层制品支架，其特征在于包括由圆套筒、布气盘和支杆组成的单元层；所述单元层的结构是布气盘置于圆套筒上，支杆直立固定在布气盘上用于支撑待涂基板，在一个单元的布气盘上放置另一个单元层的圆套筒；其中，所述圆套筒壁的上部对称设有两个凹口便于气体流通；所述支杆有一尖端。

2.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，圆套筒外径与布气盘直径相同。

3.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述布气盘为设有通孔的石墨圆盘。

4.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述圆套筒高度为支杆固定在布气盘上支撑基板后，基板顶部距离另一层布气盘20-50mm。

5.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述支杆为钨针。

6.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述圆套筒为石墨材质，壁厚6～8mm。

7.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述圆套筒壁上部的凹口形状为弧形、长方形、方形或锥形。

8.如权利要求1所述的多层制品支架，其特征在于，所述多层基板支架由3～5个单元层组成。

9.一种化学气相沉积反应室，包括权利要求1-8任一项所述的多层制品支架和反应室腔体，所述的多层制品支架置于腔体内进气口上的进气布气板上，进气口位于反应室底部，出气口与进气口相对位于反应室的顶部。

10.一种碳化硅涂层制品的生产方法，包括使用权利要求1-8任一项所述的多层制品支架，将所述的多层制品支架置于气相沉积反应室腔体内进气口上的进气布气板上，将待涂基板放置于支杆的尖端，3～4个支杆撑一个待涂基板，原料气从反应室底部进入，反应后的气体从反应室的顶部排出。