[发明专利]一种遮光板的制作方法有效
申请号: | 201110386632.2 | 申请日: | 2011-11-29 |
公开(公告)号: | CN102520590A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 施明宏;林明文;李蒙;林韦呈 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F7/00 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 邢涛;田夏 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种遮光板的制作方法,其步骤包括:在曝光台上设置挡板,通过调整挡板的位置来控制玻璃基板上的露光区域的位置,从而将需透光区域的膜层移除,并在需要遮蔽的区域形成遮光图案。本发明采用了遮罩挡板,挡板可以独立运动,能单独进行精确控制,因此可以对曝光机的光线进行精确定位,制作出符合标准的的遮光板。而且本发明无需专门设计光罩,从而节省了光罩的设计和制作成本,因此本发明可以在保证制作精度的同时,有效节约生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 遮光板 制作方法 | ||
【主权项】:
一种遮光板的制作方法,其步骤包括:A:在曝光台上设置挡板,通过调整挡板的位置来控制玻璃基板上的露光区域的位置,从而将需透光区域的金属膜层移除,并在需要遮蔽的区域形成遮光图案。
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