[发明专利]标记切割管芯取向的机制有效
| 申请号： | 201110368825.5 | 申请日： | 2011-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN102881678A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 陈宪伟 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;房岭梅 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 提供了用于识别切割管芯的取向的机制。通过在管芯的不同于其他角落的一个角落中的角落应力消除区中形成金属图案，使用者可以很容易地识别管芯的取向。本发明还提供了标记切割管芯取向的机制。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 切割 管芯 取向 机制 | ||
【主权项】：
一种用于识别切割管芯的取向的结构，包括：切割管芯的角落，所述角落具有金属层的第一图案，所述金属层的第一图案不同于位于切割管芯其他角落的所述金属层的第二图案，其中，所述第一图案和第二图案位于所述切割管芯的角落应力消除(CSR)区中，其中在所述CSR区中不设置器件、互连结构或者凸块。
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