[发明专利]标记切割管芯取向的机制

权利要求书

1.一种用于识别切割管芯的取向的结构，包括：

切割管芯的角落，所述角落具有金属层的第一图案，所述金属层的第一图案不同于位于切割管芯其他角落的所述金属层的第二图案，其中，所述第一图案和第二图案位于所述切割管芯的角落应力消除(CSR)区中，其中在所述CSR区中不设置器件、互连结构或者凸块。

2.根据权利要求1所述的结构，其中，通过使用具有40X放大能力的高倍放大器，具有所述第一图案的所述角落以明显可检测的方式不同于所述其他三个角落。

3.根据权利要求1所述的结构，其中，所述金属层是再分配层(RDL)，所述再分配层能够使凸块连接至器件的互连结构；或者

所述金属层是再分配层(RDL)，所述再分配层能够使凸块连接至器件的互连结构并且其中，所述RDL由铝制成；或者

其中，所述金属层是器件的互连结构的顶部导电层，并且其中，从所述切割管芯的上面可观察到所述角落中的所述顶部导电层的所述第一图案；或者

其中，所述CSR区是等腰直角三角形，并且其中，每个等腰直角三角形的短边长度处于约20μm至约200μm的范围内；或者

其中，所述金属层的所述第二图案基本上覆盖了位于所述其他三个角落的所述CSR区，并且其中，所述角落的所述金属层的所述第一图案基本上覆盖了位于所述其他三个角落之一处的所述CSR区之一的约1/3的面积或者小于约1/3的面积；或者

其中，所述CSR区是等腰直角三角形，并且其中，每个等腰直角三角形的短边长度处于约20μm至约200μm的范围内，并且其中，所述金属层的所述第二图案基本上覆盖了位于所述其他三个角落的所述CSR区的所述等腰直角三角形，并且其中，所述金属层的所述第一图案基本上覆盖等腰直角三角形，所述等腰直角三角形的短边长度等于或者小于所述CSR区的所述等腰直角三角形之一的所述短边长度的约一半；或者

其中，所述CSR区是等腰直角三角形，并且其中，每个等腰直角三角形的短边长度处于约20μm至约200μm的范围内，并且其中，所述金属层的所述第一图案基本上覆盖了位于所述角落的所述CSR区的所述等腰直角三角形之一，并且其中，所述金属层的所述第二图案基本上覆盖了三个等腰直角三角形，所述三个等腰直角三角形的每一个的短边长度等于或者小于所述CSR区的所述直角等腰三角形的所述短边长度的约一半；或者

其中所述第一图案至少包括字母符号、数字或者方向符号；或者

其中所述第一图案至少包括字母符号、数字或者方向符号，并且其中所述第一图案至少包括宽度处于约20μm至约80μm的范围内的字母符号、数字或者方向符号。

4.根据权利要求1所述的结构，其中，所述CSR区被密封环结构封闭，并且其中，所述密封环结构包括多层互连层，所述互连层保护所述器件区免受湿气退化、离子污染以及来自管芯切割的应力。

5.根据权利要求4所述的结构，其中，所述CSR区设置在所述密封环结构和所述切割管芯中的器件区之间。

6.根据权利要求1所述的结构，其中所述第一图案和所述第二图案被透明的钝化层覆盖。

7.一种用于识别切割管芯的取向的结构，包括：

切割管芯的角落，所述角落具有在所述切割管芯的角落应力消除(CSR)区中的金属层的第一图案，其中在所述CSR区中不设置器件、互连结构或者凸块。

8.根据权利要求7所述的结构，其中，所述金属层是再分配层(RDL)，所述再分配层能够使凸块连接至器件的互连结构或者器件的互连结构的顶部导电层，并且其中，采用放大器从所述切割管芯上方可观察到所述角落中的所述第一图案；或者

其中，所述第一图案包括字母符号、数字或者方向符号。

9.根据权利要求7所述的结构，其中，所述CSR区被密封环结构封闭，并且其中，所述密封环结构包括多层互连层，所述互连层用于保护所述器件区免受湿气退化、离子污染和来自管芯切割的应力；或者

其中，所述CSR区被密封环结构封闭，并且其中，所述密封环结构包括多层互连层，所述互连层用于保护所述器件区免受湿气退化、离子污染和来自管芯切割的应力，并且其中在所述密封环结构和所述切割管芯中的器件区之间设置所述CSR区。

10.一种用于识别切割管芯的取向的结构，包括：

切割管芯的角落，所述角落具有金属层的第一图案，所述金属层的第一图案不同于位于所述切割管芯的其他角落的所述金属层的第二图案，其中所述第一图案和所述第二图案位于所述切割管芯的角落应力消除(CSR)区中，其中在所述CSR区中不设置器件、互连结构或者凸块，其中所述CSR区是等腰直角三角形，并且其中每个等腰直角三角形的短边长度处于约20μm至约100μm的范围内。