[发明专利]一种PVD加工中使用的腔体以及PVD加工方法无效
| 申请号： | 201110270761.5 | 申请日： | 2011-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN102965615A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 卜维亮;李晓丽;张炳一 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧霁晨;高为 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种PVD加工中使用的腔体以及PVD加工方法。本发明的PVD加工中使用的腔体是用于收容靶材和被加工物的腔体，所述腔体具备屏蔽罩，其特征在于，在所述屏蔽罩的上方设置进气孔或者/以及在所述屏蔽罩的周边设有进气孔，所述进气孔为多个，所述进气孔用于将PVD加工中使用的加工气体导入所述腔体中。利用本发明的PVD加工中使用的腔体以及本发明的PVD加工方法，能够使得加工气体从腔体的周边或者上方进入腔体，能够避免扬起沉积于腔体底部的金属颗粒，能够防止在加工物表面沉积后再形成金属颗粒，能够有效地提高成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 加工 使用 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种PVD加工中使用的腔体，用于收容靶材和被加工物，所述腔体具备屏蔽罩，其特征在于，在所述屏蔽罩的上方设置进气孔或者/以及在所述屏蔽罩的周边设有进气孔。
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