[发明专利]一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法无效
| 申请号： | 201110241438.5 | 申请日： | 2011-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102321920A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 郑婉华;马传龙;范学东;渠红伟;彭红玲;王海玲;马绍栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B30/00 | 分类号： | C30B30/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶体材料处理技术领域，公开了一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法，包括：在铁电晶体材料上施加高脉冲电压，将该铁电晶体材料极化为周期性反转铁电晶体；以及对该周期性反转铁电晶体进行切割、抛光和对准键合，完成大厚度周期极化铁电晶体材料的制备。利用本发明可制备出大厚度的周期极化铁电晶体材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 厚度 周期 极化 电晶体 材料 方法 | ||
【主权项】：
一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法，其特征在于，该方法包括：在铁电晶体材料上施加高脉冲电压，将该铁电晶体材料极化为周期性反转铁电晶体；以及对该周期性反转铁电晶体进行切割、抛光和对准键合，完成大厚度周期极化铁电晶体材料的制备。
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