[发明专利]扫描装置及等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201110002687.9 | 申请日： | 2011-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN102592931A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 李谦 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种扫描装置以及等离子体加工设备，所述扫描装置用于对放置在托盘盒内的托盘进行扫描，其中，包括驱动单元、支撑体、支架、定位部件以及接触传感器，所述接触传感器设置在所述定位部件上，所述定位部件设置在所述支架上且对应所述托盘盒内用于放置托盘的槽位，所述支架与所述支撑体连接，所述支架在所述驱动单元的作用下远离或靠近所述支撑体以使所述接触传感器远离或接触所述托盘。本发明的扫描装置不仅可以在二维方向扫描盒内的托盘，而且可以对托盘的位置进行校准。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 装置 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种扫描装置，用于对放置在托盘盒内的托盘进行扫描，其特征在于，包括驱动单元、支撑体、支架、定位部件以及接触传感器，所述接触传感器设置在所述定位部件上，所述定位部件设置在所述支架上且对应所述托盘盒内用于放置托盘的槽位，所述支架与所述支撑体连接，所述支架在所述驱动单元的作用下远离或靠近所述支撑体以使所述接触传感器远离或接触所述托盘。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110002687.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：显示器件以及包含显示器件的电子器件
- 下一篇：热交换管及使用该热交换管的方法
