[发明专利]高温高压水辅助的超临界二氧化碳剥离光刻胶的装置及方法

摘要

本发明公开了一种高温高压水辅助的超临界二氧化碳剥离光刻胶的装置及方法。本发明将超临界二氧化碳、高温高压水以及双氧水结合起来，利用超临界二氧化碳独特的渗透和传输特性以及高温高压水在富氧条件下的强氧化性可以去除固化后的光刻胶。该方法属于一种物理-化学相结合的方式，与底层硅表面的兼容性很好，对注入表面的硅原子损耗较低。该装置及其方法操作简单，去胶效率高、表面干净光洁、成本低、环保、无需干燥，而且不会引入损伤。

主权项

一种高温高压水辅助的超临界二氧化碳剥离光刻胶的装置，其特征在于，该装置包括：二氧化碳储气罐(1)，通过第一阀门(2)连接于第一质量流量控制器(3)，第一质量流量控制器(3)的出口连接于第一增压泵(4)；氧气罐(6)，连接于平流泵(5)，通过第二阀门(9)与第二质量流量控制器(10)连接；去离子水储罐(8)，连接于计量泵(7)，通过第三阀门(11)与流量计(12)连接；精密混合器(13)，连接于第一增压泵(4)、平流泵(5)和计量泵(7)的出口；球形混合器(14)一端连接精密混合器(13)，另一端连接加热器(15)；加热器(15)，通过溢流阀(16)连接于延伸至反应腔室(17)内部的喷嘴(18)；安装于反应腔室(17)内部并用于固定样片的旋转托盘(20)；安装于喷嘴(18)下方反应腔室(17)内壁上将反应腔室(17)中的气态物和颗粒物带出的二氧化碳气源(19)；喷嘴(18)，连接于反应腔室(17)的入口；安装于反应腔室(17)侧壁出口的第二增压泵(21)；过滤器(23)，连接于第二增压泵(21)的出口；连接于过滤器(23)并对其出口气体进行冷却的冷却器(24)；安装于反应腔室(17)底部并控制排液管道开关的第四阀门(22)；连接于冷却器(24)另一出口的第五阀门(25)。