[发明专利]束流传输系统及方法有效
| 申请号： | 201010223083.2 | 申请日： | 2010-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN102315065A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 钱锋;陈炯 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;朱水平 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种束流传输系统，其包括一束流出射装置和一作为束流传输终点的目标工件，在该束流出射装置与该目标工件之间设有一对相互平行的、分别位于束流传输路径两侧的杆状四极磁铁。本发明还公开了一种利用上述束流传输系统实现的束流传输方法。本发明通过采用该对杆状四极磁铁，一方面能够缩短束流的传输路径，提高束流的传输效率以及到达目标工件处的束流强度；另一方面还能够便捷地对束流的强度分布和角度分布进行控制，从而提高束流的利用效率，并且有利于提高束流的注入剂量均匀性和注入角度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 流传 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种束流传输系统，其包括一束流出射装置和一作为束流传输终点的目标工件，其特征在于，在该束流出射装置与该目标工件之间设有一对相互平行的、分别位于束流传输路径两侧的杆状四极磁铁。
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- 金浩燮;金荣喆 - 电子线技术院株式会社
- 2008-05-15 - 2010-03-24 - H01J37/147
- 本发明主要涉及一种用于生成电子束的微柱的偏转器，并且尤其涉及一种能够使用磁场来对电子束进行扫描或偏移、或用作象散校正装置的偏转器。根据本发明的偏转器(100)包括一个或多个偏转器电极。所述偏转器电极中的各个偏转器电极包括由导体或半导体制成的铁芯(12)以及缠绕该铁芯(12)的线圈(11)。
- 一种阵列式微法拉第筒-200910119886.0
- 王晓浩;唐飞;张亮 - 清华大学
- 2009-03-20 - 2009-12-09 - H01J37/147
- 一种阵列式微法拉第筒，涉及对化学气体中的低能量离子流进行收集检测的装置。所述的阵列式微法拉第筒包括气路和接收电极。接收电极由多个接收单元采用阵列式排布而成，并设置在气路中；所述的气路由上、下、左、右四个管壁组成，上、下壁为绝缘材料，左、右壁为导电材料。接收电极可以设置前屏蔽电极，后屏蔽电极，上屏蔽电极，下屏蔽电极，来实现良好的屏蔽效果。本发明提供了一种屏蔽性能好，结构简单，易于微型化的一种阵列式微法拉第筒，可用于高场非对称波形离子迁移谱仪、离子迁移谱仪等化学分析仪器中。
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