[发明专利]一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置及方法无效

专利信息
申请号: 201010167809.5 申请日: 2010-05-06
公开(公告)号: CN101838800A 公开(公告)日: 2010-09-22
发明(设计)人: 孙立群;李赛;刁颖;徐金洲;石建军;钟方川;张菁 申请(专利权)人: 东华大学
主分类号: C23C16/503 分类号: C23C16/503;C23C16/455;H05H1/24
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所 31233 代理人: 黄志达;谢文凯
地址: 201620 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置及方法,同轴套置金属棒状电极和介质阻挡管形成电极-介质管,并行排列若干这样的电极-介质管成一个电极阵列面,上电极阵列面接高压线,下电极阵列面接地,电极轴向间夹角为0-180度,等离子体就产生在这样的上下两个电极阵列面之间。本发明利用这种电极阵列面构造介质阻挡放电的非对称电极结构,能够精确控制等离子体放电细丝通道的位置和放电时间,在连续运行的纤维或者薄膜表面均匀导入微纳米图案结构,降低了能耗并改善高性能纤维与树脂间的粘结性,以及纤维或者薄膜表面生物细胞的生长状态、纤维或薄膜表面的光学特性等与表面微纳米图案结构有关的性能。
搜索关键词: 一种 大气压 放电 等离子体 处理 材料 表面 装置 方法
【主权项】:
一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置,包括气室(1)、电极阵列面、样品支撑架(6)、牵引装置和高压电源,其特征在于,所述的气室(1)一端设有进口(8),另一端设有出口(9);所述的气室(1)的侧面上设有输气口(7);所述的气室(1)内部设有所述的样品支撑架(6);所述的样品支撑架(6)的位置与所述的进口(8)和出口(9)相对应;所述的样品支撑架(6)上下分别设有至少两个电极阵列面,其中,在所述的样品支撑架上方的电极阵列面称为上电极阵列面(4),在所述的样品支撑架下方的电极阵列面称为下电极阵列面(5);所述的上电极阵列面(4)与下电极阵列面(5)相互平行,并且一一对应;所述的电极阵列面由并行排列的至少二十根电极-介质管构成;所述的上电极阵列面(4)的电极-介质管在同一端用电压线(2)相连;所述的电压线(2)与所述的高压电源相连;所述的下电极阵列面(5)的电极-介质管在同一端用接地线(3)相连;所述的接地线(3)接地;所述的牵引装置包括相互连接的滚轮(10)和步进电机;所述的进口(8)处和所述的出口(9)处均设置有所述的滚轮(10)。
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