[发明专利]从硅片切割加工砂浆中回收碳化硅的简便化工业方法无效
| 申请号： | 201010132415.6 | 申请日： | 2010-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101875492A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 刘来宝;朱志翔;孙余凭 | 申请（专利权）人： | 连云港佳宇电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/36 | 分类号： | C01B31/36;C10M175/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 222114 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种从硅片切割砂浆中回收碳化硅的简便化工业方法。步骤一，在切割砂浆中加入稀释剂，以降低体系粘度；步骤二，将降低粘度后的砂浆通过精密过滤装置A进行一级分离，根据硅材料线切割对碳化硅磨料的粒度分布要求设定控制过滤精度，得到固体组份S1；步骤三，对固体组份S1进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干可直接得到可满足硅材料线切割要求的高品质碳化硅；步骤四，对经过一级分离后的砂浆液体，再通过精密过滤装置B进行二级分离，控制过滤精度使得能够截留的最小通过颗粒在2μm以下，得到固体物质S2和分离清液；步骤五，对二级分离所得到进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干，收集得到粒度更小的碳化硅微粉用于其它工业场合。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 加工 砂浆 回收 碳化硅 简便 化工业 方法 | ||
【主权项】：
一种从硅片切割加工砂浆中回收碳化硅的简便化工业方法。其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤一，在切割砂浆中加入稀释剂，以降低体系粘度；步骤二，将降低粘度后的砂浆物质通过精密过滤装置A进行一级分离，根据硅材料线切割对碳化硅磨料的粒度分布要求设定控制过滤精度，得到固体组份S1；步骤三，对一级分离所得到的固体组份S1进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干可直接得到可满足硅材料线切割要求的高品质碳化硅；步骤四，对经过一级分离后的砂浆液体，再通过精密过滤装置B进行二级分离，控制过滤精度使得能够截留的最小通过颗粒在2μm以下，得到固体物质S2和分离清液；步骤五，对二级分离所得S2进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干，收集得到粒度更小的碳化硅微粉用于其它工业场合。
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