[发明专利]掩模附着单元和使用该掩模附着单元的沉积设备无效
| 申请号： | 201010114815.4 | 申请日： | 2010-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN101812662A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 成栋永;金在中 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;薛义丹 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩模附着单元和一种使用该掩模附着单元的沉积设备，所述掩模附着单元包括：磁性组件；盖板，与所述磁性组件隔开；磁性控制单元，至少部分地在所述磁性组件的边缘和所述盖板的边缘之间。使用该掩模附着单元的沉积设备能够使用该掩模附着单元将基底和掩模组件附着在一起，以提高沉积精确度，同时防止掩模组件的切口发生变形。 | ||
| 搜索关键词： | 附着 单元 使用 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种用于沉积设备的掩模附着单元，包括：磁性组件；盖板，与所述磁性组件隔开；磁性控制单元，至少部分地在所述磁性组件的边缘和所述盖板的边缘之间。
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