[发明专利]鲁棒高宽比半导体器件无效
| 申请号： | 200980138472.0 | 申请日： | 2009-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN102164845A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 弗莱迪·罗兹博;马特吉·戈森斯;威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林;耐恩克·维尔哈德 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C99/00;H01L29/41;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种半导体器件，包括第一表面和设置在第一表面上的相邻的第一和第二电子元件，其中所述第一和第二元件的每一个均从第一表面沿第一方向延伸，所述第一元件具有实质上与第一方向垂直的截面以及至少部分地沿第一方向延伸的侧壁表面，其中所述侧壁表面包括第一部分以及沿与第一方向实质上平行延伸的线与第一部分相邻接的第二部分，其中所述第一和第二部分彼此成角度放置以提供一个内角，以及其中在所述内角处的所述侧壁表面至少部分地设置成与第二元件的相对部分相距恒定的距离R，用于在所述内角处提供机械加强结构。 | ||
| 搜索关键词： | 鲁棒高宽 半导体器件 | ||
【主权项】：
一种半导体器件，包括第一表面和设置在第一表面上的相邻的第一和第二电子元件，其中所述第一和第二元件的每一个均从第一表面沿第一方向延伸，所述第一元件具有实质上与第一方向垂直的截面以及至少部分地沿第一方向延伸的侧壁表面，其中所述侧壁表面包括第一部分以及沿与第一方向实质上平行延伸的线与第一部分相邻接的第二部分，其中所述第一和第二部分彼此成角度放置以提供一个内角，以及其中在所述内角处的所述侧壁表面至少部分地设置成与第二元件的相对部分相距恒定的距离R，用于在所述内角处提供机械加强结构。
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