[发明专利]输入/输出静电放电元件与级联输入/输出静电放电元件无效
| 申请号： | 200910181005.8 | 申请日： | 2009-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101997031A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 李东兴;林奕成;曹卫立 | 申请（专利权）人： | 联发科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/08;H01L27/088;H01L23/60 |
| 代理公司： | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人： | 葛强;张一军 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供输入/输出静电放电元件与级联输入/输出静电放电元件，其中输入/输出静电放电元件，包括栅极电极，位于衬底之上；栅极介质层，位于所述栅极电极和所述衬底之间；一对侧壁隔离单元，分别位于所述栅极电极的两个相对的侧壁；第一LDD区域，位于一个所述侧壁隔离单元之下；源极区域，与所述第一LDD区域相邻；第二LDD区域，位于另一个所述侧壁隔离单元之下；以及漏极区域，与所述第二LDD区域相邻；其中所述第二LDD区域的掺杂浓度大于所述第一LDD区域的掺杂浓度。利用本发明能够减少ESD元件的结击穿电压并获得更好的ESD性能。 | ||
| 搜索关键词： | 输入 输出 静电 放电 元件 级联 | ||
【主权项】：
一种输入/输出静电放电元件，其特征在于，包括：栅极电极，位于衬底之上；栅极介质层，位于所述栅极电极和所述衬底之间；一对侧壁隔离单元，分别位于所述栅极电极的两个相对的侧壁；第一轻掺杂漏极区域，位于一个所述侧壁隔离单元之下；源极区域，与所述第一轻掺杂漏极区域相邻；第二轻掺杂漏极区域，位于另一个所述侧壁隔离单元之下；以及漏极区域，与所述第二轻掺杂漏极区域相邻；其中所述第二轻掺杂漏极区域的掺杂浓度大于所述第一轻掺杂漏极区域的掺杂浓度。
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