[发明专利]树脂密封型半导体装置及其制造方法、引线框有效
申请号: | 200910168127.3 | 申请日: | 2009-08-28 |
公开(公告)号: | CN101661893A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 |
发明(设计)人: | 佐佐木武;新藤昌浩;恩田和美 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社;三洋半导体株式会社 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/607;H01L21/56;H01L23/495;H01L21/48;H01L21/60;H01L23/28 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种树脂密封型半导体装置及其制造方法、引线框。防止因超声波Al引线接合牢固地将被固定在引线框上的各半导体芯片等和引线框的引线接合部接合以及切断引线框的外框时的外框的未切断部分而造成的各半导体芯片等产生短路的弊害。使引线框上的引线接合部等沿引线接合方向延伸,用连结引线等与引线框的外框连结,从而阻止超声波Al引线接合时的超声波振动力的发散,形成Al线与引线接合部等的牢固的接合。而且,树脂密封工序结束后,切断外框,但即使外框的未切断部分残留在树脂封装件的侧面的情况下,通过在连结引线等和其他悬吊引线等之间的外框上设有缺口等,防止连结引线等与悬吊引线等连结。 | ||
搜索关键词: | 树脂 密封 半导体 装置 及其 制造 方法 引线 | ||
【主权项】:
1.一种树脂密封型半导体装置的制造方法,其特征在于,包括:将半导体芯片芯片接合于引线框上的岛的工序;用Al线对上述半导体芯片和上述引线框进行超声波引线接合的工序;对芯片接合有上述半导体芯片的上述引线框进行树脂密封的工序,上述引线框上的引线接合部沿着上述超声波的振动方向延伸。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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