[发明专利]基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读存储介质

摘要

本发明提供基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读存储介质。其中，基板处理装置通过输送室内的基板输送部将基板自载置在搬入搬出口上的搬运容器内取出后交接给处理组件，并在该处理组件内进行基板的处理。该基板处理装置包括以与该输送室相连通的方式通过输送口与输送室的外侧相连接的基板保管室、设在基板保管室中，以第1保管目的保管多个基板的第1保管架、设在基板保管室中，以与第1保管目的不同的第2保管目的保管多个基板的第2保管架、以及为了使第1保管架以及第2保管架中一方的基板保管区域处于可通过输送口在该基板保管区域与基板输送部之间交接基板的位置，移动该第1保管架以及第2保管架的移动机构。

主权项

1.一种基板处理装置，该基板处理装置通过输送室内的基板输送部将基板自载置在搬入搬出口上的搬运容器内取出而交接给处理组件，并在该处理组件内进行基板的处理，其中，该基板处理装置包括基板保管室、第1保管架、第2保管架和移动机构；上述基板保管室以与上述输送室相连通的方式通过输送口与该输送室的外侧相连接；上述第1保管架设在上述基板保管室中，以第1保管目的来保管多个基板；上述第2保管架设在上述基板保管室中，以与上述第1保管目的不同的第2保管目的来保管多个基板；为了使上述第1保管架以及第2保管架中的一个保管架的基板保管区域处于可通过上述输送口在该基板保管区域与上述基板输送部之间进行基板的交接的位置，上述移动机构使该第1保管架以及第2保管架移动。