[发明专利]检测接合装置中的待检测对象的方法、接合装置、和接合方法无效

专利信息
申请号: 200810085616.8 申请日: 2008-01-29
公开(公告)号: CN101246008A 公开(公告)日: 2008-08-20
发明(设计)人: 中山均;竹岛直树 申请(专利权)人: TDK株式会社
主分类号: G01C11/00 分类号: G01C11/00;B05C5/04;B23K1/005
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 杨晓光;李峥
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种检测接合装置中的待检测对象的方法、接合装置、和接合方法。所述方法具体是一种检测在对象保持部分中是否存在待检测对象的检测方法,对象保持部分与用红外线照射待检测对象的照射部分一起使用,保持待检测对象,并具有开口,检测方法包括:由成像装置在具有开口的预定区域内成像图像信号;并且通过光学单元使照射部分的照射光路和成像装置的成像光路在开口内基本相互重合。
搜索关键词: 检测 接合 装置 中的 对象 方法
【主权项】:
1.一种检测在对象保持部分中是否存在待检测对象的检测方法,所述对象保持部分与用于以红外线照射所述待检测对象的照射部分一起使用,用于保持所述待检测对象,并具有开口,所述检测方法包括:通过成像装置成像具有开口的预定区域内的图像信号;以及通过光学单元使所述照射部分的照射光路和所述成像装置的成像光路在所述开口内基本相互重合。
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