[发明专利]用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置无效

专利信息
申请号: 200810050937.4 申请日: 2008-07-08
公开(公告)号: CN101311831A 公开(公告)日: 2008-11-26
发明(设计)人: 冯晓国;赵晶丽;梁凤超;高劲松 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 代理人: 赵炳仁
地址: 130033吉*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及对光学器件进行旋涂光刻胶时的辅助卡具,特别是一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置,由可穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘和旋扣式连接在底盘周缘壁上的盖板构成,在所述底盘周缘壁的下部设有至少3个均布的台肩;所述的盖板顶部中心设有一垂向通孔,在该通孔中通过弹簧设置一可使之上下滑动的滑动轴,该滑动轴的下端固设一弧形压板。本发明辅助装置为实现凹球面器件旋涂光刻胶提供了可行的工艺装备,其操作便捷、安全可靠。
搜索关键词: 用于 球面 器件 光刻 辅助 装置
【主权项】:
1.一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置,其特征在于,由可穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘(1)和旋扣式连接在底盘(1)周缘壁上的盖板(2)构成,在所述底盘(1)周缘壁的下部设有至少(3)个均布的台肩(11);所述的盖板(2)顶部中心设有一垂向通孔,在该通孔中通过弹簧(5)设置一可使之上下滑动的滑动轴(4),该滑动轴(4)的下端固设一弧形压板(3)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200810050937.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top