[发明专利]形成金属薄膜和金属布线图案的方法及显示面板制造方法无效
| 申请号： | 200710001440.9 | 申请日： | 2007-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN101092685A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 金泽熙;尹弼相;姜镐民;郑培铉 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/54;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种形成金属薄膜的方法，包括：在对应于靶的区定位基底、靶包含银(Ag)并且提供于反应空间内、向反应空间内提供惰性气体和含氧气体。此外，所述方法还包括通过在靶和基底之间产生等离子体而在基底上形成含银(Ag)导电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 金属 薄膜 布线 图案 方法 显示 面板 制造 | ||
【主权项】：
1.一种形成金属薄膜的方法，包括：在对应于靶的区定位基底，所述靶包括银并且被提供于反应空间内；向所述反应空间内提供惰性气体和含氧气体；并且通过在所述靶和基底之间产生等离子体而在所述基底上形成含银导电膜。
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