[发明专利]金属光刻掩膜盒有效
| 申请号： | 200610140987.2 | 申请日： | 2006-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN101169593A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 邱铭隆;王建峰 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明披露一种金属光刻掩膜盒结构，由一个上盖体、一个下盖体及一个位于金属上盖体及金属下盖体之间的环状气密垫圈组合而成，并且于金属光刻掩膜盒的一个侧边上配置至少一个活动接合机构，用以连接金属上盖体及金属下盖体，再于活动接合机构之相对侧面上配置至少一个锁扣件，用以扣合金属上盖体及金属下盖体。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 光刻 掩膜盒 | ||
【主权项】：
1.一种金属光刻掩膜盒，其特征在于该金属光刻掩膜盒由金属上盖体及金属下盖体组合而成，其中于该金属光刻掩膜盒的一侧边上配置至少一个活动接合机构用以连接该金属上盖体及该金属下盖体，且于该活动接合机构之相对侧面上配置至少一个锁扣件，用以扣合该金属上盖体及该金属下盖体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于家登精密工业股份有限公司，未经家登精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610140987.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有防爆功能的盖板组件
- 下一篇：基于触觉的模拟视幻觉定位系统
