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[实用新型]支撑机构及具有该支撑机构的基板容器-CN202023340227.0有效
发明人： 邱铭隆;林家永 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：一种支撑机构及具有该支撑机构的基板容器，所述基板容器包含外壳、两个侧支撑单元及支撑机构。每一侧支撑单元包括至少一支撑件。支撑机构包括固定架及悬臂组件。固定架具有安装穿孔，其具有第一孔部、第二孔部及肩部。悬臂组件包括固持座、支撑臂及调整件。固持座设置于第二孔部并具有固持孔及至少一调整孔。支撑臂穿过安装穿孔的第一孔部而固定于固持孔，且支撑臂具有在左右方上倾斜的顶面并形成支撑棱边。调整件可在前后方向上调整地穿设于调整孔且末端抵靠于固定架位于肩部处的壁面。借由本创作的实施，可简化基板容器及其支撑机构而使其易于组装及调整。
支撑机构具有容器

[实用新型]具有微调抵顶的晶圆运送盒-CN202120985222.9有效
发明人： 邱铭隆;陈湘縈 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种具有微调抵顶的晶圆运送盒，主要包括：一底壳座，其上设有容置空间以置放晶圆，于侧壁上设有至少一缺口及一卡扣部；一上壳盖，其与该底壳座对盖闭合，其边上相对设有至少一侧盖及一卡勾部，与该卡扣部对应形成互卡固定并将该缺口封闭，以及；至少一抵顶件，连设在该侧盖的内缘，其具有一抵顶端可深入该缺口中，通过该抵顶件可弹性微调伸缩或偏摆抵顶该容置空间中内置的晶圆侧边，使能依不同晶圆尺寸大小产生自动调整抵顶定位，以持稳晶圆并提供缓冲稳固置放的安全保护，而降低晶圆损伤及破裂的风险。
具有微调运送

[发明专利]光罩盒-CN202010112027.5在审
发明人： 邱铭隆 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2020-02-24 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光罩盒，包含底座及上盖。底座包括至少周缘以内部分是以石英制成的座体，及多个下支撑组件，每一个下支撑组件的至少部分凸露出于座体上表面。上盖包括至少周缘以内部分是以石英制成的盖体，及多个上支撑组件，每一个上支撑组件的至少部分凸露出于盖体下表面。盖体与座体相配合共同形成封闭空间，且所述上支撑组件与所述下支撑组件共同界定位于封闭空间内的固持位置。通过座体与盖体的至少周缘以内由硬度较高且耐化性佳的石英制成，能够避免盖体与座体开阖过程中因摩擦产生微粒；也不需镀覆保护膜而提高尺寸精度以及制造良率。
光罩盒

[实用新型]晶圆运送盒-CN202020175029.4有效
发明人： 邱铭隆;陈湘萦 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2020-02-17 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆运送盒，包括：一外壳，包括一底座及一上盖；一卡匣件，可分离地设在底座内，卡匣件的两相对侧壁分别设有多个晶圆容置槽，每两个相邻的晶圆容置槽间以一凸肋分隔；以及一上辅助限位单元，一体成型地连设在上盖内，并包括两排彼此相对突伸且分别与一晶圆容置槽对应的上保持件，及两排分别由上盖底侧朝向卡匣件内侧突伸的导引件，且每一导引件的至少末端部分邻近于一晶圆容置槽一侧的凸肋表面。通过这些导引件的导引，可确保晶圆运送盒在盖合过程中，上保持件与晶圆能相对正，以正确持稳晶圆并提供缓冲而降低晶圆损伤及破裂的风险。
运送

[实用新型]基板运载容器-CN201921525576.4有效
发明人： 邱铭隆;杨宗益 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： B65D25/20 文献下载
摘要：一种基板运载容器，包含至少一识别资料载座及外壳。识别资料载座用以设置识别资料，并具有本体及结合单元。外壳包括主壳体、封盖及载座安装单元。封盖可拆离地与主壳体结合以共同界定容置空间。主壳体具有外壁面，载座安装单元设于外壁面并与结合单元对应结合。结合单元与载座安装单元中的至少一者沿第一方向设置或延伸，且结合单元与载座安装单元是以两者在第一方向上的相对位置可变地结合，以使识别资料载座可受操作地设置于主壳体的外壁面上位于第一方向上的不同位置，以满足不同的使用需求。
运载容器

[实用新型]易碎片状物的储运装置-CN201921478826.3有效
发明人： 邱铭隆;林家永 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B65D85/30 文献下载
摘要：一种易碎片状物的储运装置，包含外壳、两个侧支撑单元及后支撑单元。两个侧支撑单元与后支撑单元共同支撑易碎片状物。后支撑单元包括固定架及多个悬臂组件。固定架的安装板部具有多个在上下方向间隔排列的安装穿孔。各悬臂组件包括支撑臂、固持座及调整件。支撑臂具有本体及定位柱，定位柱自本体的后端部延伸而穿设于安装穿孔，固持座抵靠于安装板部后侧并具有配合容置固持定位柱的固持孔，及位于固持孔上下两侧中的至少一侧的调整孔，调整件可在前后方向上调整地穿设于调整孔且末端抵靠于安装板部后侧以调整支撑臂的上下倾斜角度。
易碎片状储运装置

[实用新型]运载装置-CN201921055234.0有效
发明人： 邱铭隆 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种运载装置，包括一盒体以及至少一定位结构。盒体具有一开口。定位结构包括一杆件、一限位件以及一弹性件。杆件枢接于盒体的开口的一侧且适于相对于盒体枢转。限位件枢接于杆件并受杆件带动而在一第一位置及一第二位置间移动。弹性件一端连接于限位件，且限位件通过弹性件的弹力而被定位于第一位置或第二位置。当限位件位于第一位置时，限位件受弹性件的弹力牵引而由开口处的盒体外部向开口处的盒体内部方向进行抵压。当限位件位于第二位置时，杆件及限位件皆不位于由盒体内部平行盒体两侧并经由开口而朝向盒体外部的路径上。
运载装置

[实用新型]晶圆运载盒-CN201920433437.2有效
发明人： 邱铭隆;陈延方 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：一种晶圆运载盒，包含外壳及限位单元。该外壳包括底座及可分离地盖合于该底座的上盖，该上盖具有第一导引部。该限位单元包括设于该上盖的上保持件及可拆离地设于该底座的卡匣件，该上保持件与该卡匣件适于共同将多个晶圆限位。该卡匣件具有第二导引部，该第二导引部与该第一导引部相配合以在该上盖与该底座盖合过程中导引该上盖与该卡匣件相互对位。借此可使晶圆运载盒的上盖在盖合过程中受到导引而确保上保持件与晶圆相对正，从而降低晶圆损伤或破裂的风险，并且能使上盖与底座较容易对位盖合。
上盖导引部晶圆底座保持件盖合卡匣限位单元运载盒导引对位可分离地底座盖可拆匣件限位种晶破裂损伤配合

[实用新型]具有自动闭锁装置的容器-CN201821798001.5有效
发明人： 邱铭隆;庄文杰 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： B65D43/26 文献下载
摘要：一种具有自动闭锁装置的容器，在侧边具有开口的容器本体上面活动地设置一把手、一被动元件，且在邻接该开口的容器本体上方或下方具有一引导定位部；该开口的侧边活动地设置一闭锁元件；该闭锁元件可以被该引导定位部限制在一不阻挡该开口的第一位置；当把手被提起时，藉由把手本身或设于把手的主动元件牵动该被动元件驱使该闭锁元件脱离该引导定位部的限制，然后由引导定位部将闭锁元件引导至阻挡该开口的一第二位置并定位以阻挡该开口，避免承载于容器内的物品掉出。
开口闭锁元件定位部自动闭锁装置被动元件容器本体把手活动地阻挡侧边第二位置第一位置主动元件邻接承载牵动脱离

[实用新型]晶圆盒-CN201820837277.3有效
发明人： 邱铭隆;杨宗益;陈延方 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆盒，包含盒体及门体。盒体具有底座、两个彼此间隔相对的侧壁、连接底座和两侧壁后端的后壁，及连接两侧壁和后壁顶端并与底座间隔相对的顶壁，底座、两侧壁、后壁及顶壁共同界定容置空间，且底座、两侧壁及顶壁共同形成门框并界定与容置空间连通的开口。门框具有前端面。盒体还具有由前端面的下缘往前凸伸的支撑凸缘。门体可拆离地与盒体组合以封闭开口，且具有相连接的内门板及外门板，外门板的四周较内门板凸出而形成与前端面密合地相接的内接面，且当门体与盒体组合时，外门板的底缘抵靠于支撑凸缘。
两侧壁外门板顶壁盒体底座盒体组合容置空间支撑凸缘内门板前端面后壁界定门框凸出底座间隔封闭开口后壁顶端间隔相对连接底座晶圆盒内接面侧壁底缘可拆门体密合前凸下缘圆盒种晶连通开口

[实用新型]晶圆盒-CN201820836887.1有效
发明人： 邱铭隆;杨宗益;陈延方;李嘉龄 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆盒，包含盒体以及门。该盒体具有两直立侧壁、顶壁、底壁、后壁、及底座，所述侧壁、该顶壁、该底壁共同界定开口。该门可拆离地与该盒体组合以封闭该开口，并与所述侧壁、该顶壁、该底壁、该后壁共同界定收容空间，该门包括外门板、内门板及密封结构。该内门板的外周轮廓小于该外门板的外周轮廓。该密封结构设置或形成于该外门板的周缘以在该门与该盒体组合而封闭该开口时将该门与该盒体接合处密封，以使该密封结构能稳固定位而不致松脱。
密封结构外门板底壁顶壁盒体开口盒体组合外周轮廓内门板侧壁后壁界定收容空间稳固定位直立侧壁接合处晶圆盒封闭可拆松脱圆盒种晶底座密封

[实用新型]容器门及密封容器-CN201820836827.X有效
发明人： 邱铭隆;陈尚宇 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种容器门及密封容器，该容器门包含门体、闩锁机构及第一密封单元。门体两相对侧分别设有至少一穿孔，且具有外门板及内门板，外门板的外周轮廓大于内门板的外周轮廓，外门板设有锁孔。闩锁机构设于外门板与内门板之间，且包括位置对应锁孔设置的控制件及与控制件连接且分别对应穿孔设置的闩锁件，控制件可由外部透过锁孔被操作以连动闩锁件，使闩锁件可在经由所述穿孔凸伸出门体外的锁定位置及不凸伸出门体外的释锁位置之间转换。第一密封单元连接于闩锁机构上以使锁孔外侧经由锁孔、门体内部至穿孔外侧间至少在闩锁件位于锁定位置时不连通，如此能使该容器门与该盒体组合并锁固时，避免外界的颗粒污染物经由该锁孔及所述穿孔进入该密封容器内。
锁孔穿孔容器门外门板闩锁件门体密封容器闩锁机构控制件内门板密封单元锁定位置外周轮廓伸出颗粒污染物盒体组合释锁位置不连通体内部连动锁固外部转换

[实用新型]晶圆盒-CN201820836854.7有效
发明人： 邱铭隆;杨宗益;陈延方 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆盒，用以容置至少一晶圆或晶圆框架，该晶圆盒包含盒体、门体、机器提把、多个动态定位销及至少一个配重件。盒体具有底座、两个侧壁、后壁及顶壁，并界定容置空间及与容置空间连通的开口。门体可拆离地与盒体组合以封闭开口。机器提把连接于盒体的顶壁的外侧面。动态定位销连接于盒体的底座的外侧面，动态定位销分布位置的中心点与机器提把的中心点在上下方向相对齐。配重件布设于底座，以使该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于机器提把的中心点与动态定位销分布位置的中心点的连线上。如此可在机械手臂抓取机器提把以移动晶圆盒的过程中，使该晶圆盒保持平衡及平稳以避免倾斜或晃动，借此降低晶圆损伤的机率。
晶圆盒提把动态定位中心点盒体晶圆底座分布位置晶圆框架容置空间配重件外侧面顶壁门体容置抓取封闭开口盒体组合机械手臂上下方向布设销连接侧壁后壁晃动界定可拆连线圆盒种晶连通开口损伤重心移动平衡

[实用新型]晶圆容器-CN201820306308.2有效
发明人： 邱铭隆;杨宗益;陈延方 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： B65D85/86 文献下载
摘要：一种晶圆容器，包含外壳及导流件。外壳界定容置空间，外壳包括底壁及后壁，底壁形成有与容置空间相连通且邻近后壁的进气孔。导流件设置于容置空间内并且结合于底壁及后壁，导流件与底壁及后壁共同界定出与进气孔相连通的气体流道。导流件形成有多个沿着上下方向彼此相间隔排列的出气口，所述出气口连通于气体流道与容置空间之间。借此，能提升清洗晶圆的效果。导流件结构设计上较为简单，在制造上能节省用料、减轻重量并降低制造成本，还能有效地提升晶圆容器内部的洁净度，并且便于对导流件及壳体内部进行清理或维护。
导流件容置空间底壁后壁晶圆容器气体流道出气口进气孔间隔排列壳体内部上下方向外壳界定制造成本洁净度有效地界定晶圆用料种晶连通清洗邻近制造维护

[实用新型]光罩盒-CN201721419468.X有效
发明人： 邱铭隆;陈延方 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本实用新型提供一种光罩盒，包括第一盒体、第二盒体及锁扣机构。第一盒体具有多个第一定位部。第二盒体可沿第一方向相对第一盒体开合，并与第一盒体共同形成容置空间。第二盒体具有多个第二定位部，这些第二定位部与这些第一定位部相配合以共同定位并支撑光罩。锁扣机构包括设于第一盒体及第二盒体中的一者的滑扣单元，及设于第一盒体及第二盒体中的另一者的扣勾单元。当第二盒体与第一盒体相对盖合时，滑扣单元与扣勾单元可相互扣合以将光罩盒固定于闭合状态，且至少一第一定位部与至少一第二定位部沿垂直于第一方向的方向相互挡止。可提高作业时的便利性及可靠度，避免外界的杂物因盖合不确实而进入光罩盒污染光罩及光罩在传送过程中受到损伤。
盒体光罩盒第二定位部第一定位部光罩锁扣机构滑扣扣勾本实用新型闭合状态传送过程方向相对容置空间便利性可靠度挡止盖合开合杂物垂直损伤支撑污染配合

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