[发明专利]晶片搬运设备的校正装置与晶片搬运设备的校正方法无效
| 申请号： | 200610093847.4 | 申请日： | 2006-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101092034A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 吴展村;林瑞良 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/22 | 分类号： | B25J9/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶片搬运设备的校正装置，包括反射元件、取像模块、图像处理模块与屏幕。其中，反射元件配置于晶片承载装置旁，取像模块配置于反射元件反射光线的光学路径上。反射元件适于将晶片承载装置内的图像反射至取像模块，而取像模块适于撷取晶片承载装置内的图像。图像处理模块耦接至取像模块，并且当搬运装置伸入晶片承载装置内时，图像处理模块适于分析取像模块所撷取到的图像，以判断搬运装置的位置是否正常。之后，再根据分析的结果调整搬运装置的位置，如此可精确又实时地调整搬运装置的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 搬运 设备 校正 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种晶片搬运设备的校正装置，适于对晶片搬运设备进行校正，其中该晶片搬运设备包括搬运装置，其适于将多个晶片搬离或置入晶片承载装置的多个容置槽中，而该晶片搬运设备的校正装置包括：反射元件，配置于该晶片承载装置旁；取像模块，配置于该反射元件反射光线的光学路径上，其中该反射元件适于将该晶片承载装置内的图像反射至该取像模块，而该取像模块适于撷取该晶片承载装置内的该图像；图像处理模块，耦接至该取像模块，其中当该搬运装置伸入该晶片承载装置内时，该图像处理模块适于分析该取像模块所撷取到的该图像，以判断该搬运装置的位置是否正常；以及屏幕，耦接至该取像模块，以显示该取像模块所撷取到的该图像。
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