[发明专利]微振子、半导体装置以及通信装置无效
| 申请号： | 200610073946.6 | 申请日： | 2006-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1838532A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 田中均洋 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 岳耀锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种微振子、半导体装置以及通信装置，在适用于例如信号滤波器等的微振子中，谋求降低其对地电容，抑制信号输出的损耗。在基板上形成具有与下部电极(43、44)对置而进行静电驱动的梁(47)的振子元件(33)，且形成为与梁(47)连接的直流偏置供电线(45)的线宽(W1)以比梁(47)的宽度(W2)窄的宽度形成。 | ||
| 搜索关键词： | 微振子 半导体 装置 以及 通信 | ||
【主权项】：
1.一种微振子，其特征在于，在基板上形成具有与下部电极对置而进行静电驱动的梁的振子元件，与上述梁连接的直流偏置供电线的线宽以比上述梁的宽度窄的宽度形成。
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