[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法

摘要

本发明的基板处理装置以及方法进行以下处理：即使在前工序中附有从基板难以除去的处理液的情况下，也能够防止相对于基板而冲洗液逆流到前工序的处理槽中，同时能够减低由残存在基板上的前工序的处理液带来的不良影响。因此，在水洗处理部的处理室中，对搬送中的基板(W)的表面，从入口喷嘴(20)向基板搬送方向下游侧供给冲洗液，通过该水洗处理部也能够防止冲洗液向前工序的处理槽的逆流，同时进行将在前工序中供给的处理液置换为冲洗液的处理。对供给了该冲洗液之后的(W)的表面，从气液流体喷嘴(21)，在与基板搬送方向交叉的基板宽度的整个区域上，供给由气体与液体构成的气液流体，从而除去仍残存在基板表面的前工序的处理液。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：冲洗液供给单元，其配置在进行将沿着预定的方向搬送的基板的表面上所附着的处理液置换为冲洗液的置换处理的处理槽内，对该搬送中的基板的表面，向基板搬送方向下游侧供给冲洗液；流体供给单元，其在上述处理槽内被设置在上述冲洗液供给单元的基板搬送方向下游侧，在与该基板搬送方向交叉的基板宽度的整个区域上，对上述基板的表面供给流体。