[发明专利]在光学石版曝光时冷却标线板的方法以及装置无效
| 申请号： | 200310102441.4 | 申请日： | 2003-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1497357A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 圣地亚哥·德尔普艾尔托;丹尼尔·N·加尔伯特;安德鲁·W·迈克库尔劳奇;斯蒂芬·鲁;约斯特·J·奥滕斯 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王景林 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种装置与方法，能够消除冷却剂流经短冲程台座时所产生的震动，且通过维持温度与短冲程台座内的温度扭曲成固定值，而不管入射在标线板上的光化热负载，藉此防止短冲程台座的热引发扭曲之变化。这是通过以下步骤而达成的：(1)透过标线板与短冲程台座零件而传热；(2)将热量从短冲程台座辐射式地传送至长冲程台座；及(3)使用对流及一冷却系统，将热量从长冲程台座发散出去。短冲程台座可以从长冲程台座处磁力漂浮起来，这样的方式没有物理上的接触，但是长冲程台座的移动仍然可以控制短冲程台座的移动。通过与长冲程台座之间无物理上的接触，短冲程台座就不会受到流动的冷却剂所引起在长冲程台座中之震动的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 石版 曝光 冷却 标线 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种装置，其包括：一长冲程台座，其包括一辐射联结器及冷却部，该冷却部能将热量从该长冲程台座移开；及一短冲程台座，其辐射式地联结至该长冲程台座，该短冲程台座包含：一基底接收装置，其在曝光处理期间固持一基底，且将热量从该基底移开；一均匀热移除部，其联结至该基底接收部，该均匀热移除部能够将来自该基底接收部所传导的热量移开；及一辐射联结器，其联结至该均匀热移除部，该辐射联结器能够将热量从该均匀热移除部辐射式地移除至该长冲程台座上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML控股股份有限公司，未经ASML控股股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200310102441.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
