[发明专利]可调电容器及其制造方法有效
申请号: | 03108232.7 | 申请日: | 2003-03-25 |
公开(公告)号: | CN1447453A | 公开(公告)日: | 2003-10-08 |
发明(设计)人: | 岛内岳明;今井雅彦;中谷忠司;宫下勉;佐藤良夫 | 申请(专利权)人: | 富士通媒体器件株式会社;富士通株式会社 |
主分类号: | H01L41/00 | 分类号: | H01L41/00;H01L41/22;H01G5/00;H01G13/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李德山 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种可调电容器及其制造方法。可调电容器包括衬底、由该衬底支撑的固定电极和可动电极、由衬底支撑并且用来驱动可动电极的压电致动器以及介于固定电极和可动电极之间的介电层。 | ||
搜索关键词: | 可调 电容器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种可调电容器,它包括:衬底;由所述衬底支撑的固定电极和可动电极;多个压电致动器,它们由所述衬底支撑并且驱动所述可动电极;以及介于所述固定电极和可动电极之间的介电层。
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