[发明专利]基板干燥装置以及使用该装置的基板干燥方法

摘要

本发明提供一种可控制空气消耗量并高效地干燥基板、且高效节能的基板干燥装置以及使用该装置的基板干燥方法。把向基板(2)的表面(2a)喷射空气的方柱状的气刀喷嘴(4)的长度方向沿与基板运送方向倾斜交叉地配置。把该气刀喷嘴(4)分隔为第1及第2空气喷射室(4c)、(4d),并配置控制从第1及第2空气喷射室(4c)、(4d)喷射的空气量的流量控制器(6a)、(6b)。并且,在第2空气喷射室(4d)面对基板(2)的后方角部(2c)时,由流量控制器(6a)、(6b)增加从第2空气喷射室(4d)喷射的空气量,同时停止从第1空气喷射室(4c)的空气喷射。

主权项

1.一种基板干燥装置，具有：运送表面沾有液体的基板的基板运送机构、与由所述基板运送机构运送的基板对面配置、并向所述基板表面喷射空气而对该基板进行干燥的气刀喷嘴、控制从所述气刀喷嘴喷射的空气喷射量的空气量控制机构，其特征在于：所述气刀喷嘴被分割成分别面对所述基板表面的多个空气喷射室，所述空气量控制机构，根据所述气刀喷嘴与被运送的所述基板的相对位置，分别调整从各所述空气喷射室喷射的空气量。