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- [发明专利]图案转移的方法-CN02124620.3有效
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方震宇;黄志贤;林嘉祺;黄瑞祯
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联华电子股份有限公司
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2002-06-14
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2003-12-31
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G03F7/00
- 一种图案转移的方法,在图案光阻形成在底材上后,先对图案光阻进行一硬化程序,接着才将硬化处理过的图案光阻的图案转移至底材。在此,常见的硬化程序是硅化程序,并且可以只硬化图案光阻的顶部,也可以硬化图案光阻的顶部与侧壁。并且,可以在执行硬化程序之前,先改变图案光阻高度与缩小图案光阻临界尺寸。显然地,由于硬化处理过的图案光阻的蚀刻阻值大于图案光阻材料的蚀刻阻值,可以有效地减少图案光阻在图案转移程序所受到的蚀刻,进而克服图案失真的问题,以及克服习知技术为避免光阻被蚀刻耗尽而必需使用较厚的图案光阻时,图案光阻的临界尺寸受限于显影能力而不能进一步降低的问题。
- 图案转移方法
- [发明专利]氮化硅存储器件及其制造方法-CN02122887.6有效
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钟嘉麒
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旺宏电子股份有限公司
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2002-06-17
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2003-12-31
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H01L27/10
- 一种氮化硅存储器件及其制造方法,此方法首先在一基底上依序形成一电荷捕捉层以及一光阻层。接着以光阻层为一离子植入罩幕,以在基底中形成一位线。之后在光阻层的至少侧表面形成不与电荷捕捉层反应一第一衬套层,并以第一衬套层与光阻层为一蚀刻罩幕图案化电荷捕捉层,而形成一条状电荷捕捉层。在将第一衬套层与光阻层移除后,于位线上方的基底表面形成一绝缘层,并且以垂直于位线的方向于条状电荷捕捉层与绝缘层上形成一字符线。之后于字符线的表面形成不与条状电荷捕捉层反应一第二衬套层。然后以第二衬套层为一蚀刻罩幕图案化条状电荷捕捉层,以形成数个块状电荷捕捉层。之后将第二衬套层移除。
- 氮化存储器件及其制造方法
- [发明专利]换向器用高强度加强环的制造方法-CN02112020.X有效
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孙马玉
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孙马玉
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2002-06-10
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2003-12-31
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H01R43/06
- 一种换向器用高强度加强环的制造方法,配方以重量称重:1.选用稀释的F51环氧树脂为原料,再加液体状的304固化剂60-80%,充分搅拌制成加强环树脂;2.选用E27/3无碱纱为原料,浸泡在绕环机上加有50-70%加强环树脂的槽中,经绕环机自动将涂有加强环树脂的无碱纱绕成片子棒,再将绕好的片子棒放入烘箱3-12小时,温度控制在80-300℃;3.将烘干的片子棒从烘箱中拿出,冷却后,用机械加工设备对外表面加工磨光,然后松开片子棒,将制得的加强环取出。用此方法制成的高强度加强环,耐高温可达到300℃,抗拉强度高达到40-80公斤/厘米2,而绝缘强度高,抗老化,放置在换向器的轴向上,与填充料、换向片、云母片浇注成整体的换向器,增加了换向器的机械强度,大幅度提高其的质量和寿命。
- 换向器用强度加强制造方法
- [发明专利]可降解营养花盆、育秧盆-CN02112063.3有效
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谈嘉俊
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谈嘉俊
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2002-06-13
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2003-12-31
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A01G9/02
- 本发明公开了一种可降解营养花盆、育秧盆。其材质的组分包括:植物纤维、粘接剂、助剂和有机肥。助剂为石蜡、动植物油脂、硬脂酸、滑石粉、碳酸钙或石灰石中的一种及其混合物。该花盆是这样制备的:将植物纤维切碎,按比例加入粘接剂、助剂和有机肥,加水搅拌,热压固化成型,脱模,即可获得花盆、育秧盆。本发明的花盆营养成分完整,可降解,能使花卉根须附着在内壁,容易与外界交换空气,根部土壤能得到很好的保护,并且在降解过程中逐步释放营养成分,在插花、育秧时可将花籽、花枝置于育秧盆,等成活长大时可直接连花盆带花一起移植、出售。花盆透气性良好,拒水性强,有一定的保湿性、保肥性。该花盆无任何污染,属真正的环保产品。
- 降解营养花盆育秧
- [发明专利]一种高强度包装钢带及热处理工艺-CN02109635.X有效
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王洪珂
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王洪珂
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2002-04-30
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2003-12-31
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B65D63/02
- 本发明公开一种高强度包装钢带及其热处理工艺,这种钢带的成分为(重量百分比)C:0.22~0.29,Si:≤0.015,Mn:1.30~1.5,P≤0.015,S≤0.010,Als≥0.015,Nb≥0.012,余量为Fe。它的工艺过程是钢带经过引料辊进入电加热炉,炉温度为550~650℃,其钢带运行的速度为2.5~3.5m/min,钢带出炉温度为450~550℃,钢带出炉后自然风冷,本钢带机械性能稳定,不但满足高强度包装用钢带的性能要求,还可替代其它钢带制作时进行调质处理(淬火+回火)工艺,其成本低,无污染。
- 一种强度包装热处理工艺
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