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[发明专利]用于实现RPS净化的气体混合器-CN202180079522.3在审
发明人：阮芳;D·凯德拉亚;A·班塞尔;V·S·C·帕里米;R·纳拉亚南;B·N·拉马穆尔蒂;S·L·明斯;J·G·K·约瑟夫;R·乔德里 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种半导体处理系统包括远程等离子体源(RPS)、面板，以及定位在RPS与面板之间的输出歧管。输出歧管由与净化气源流体耦接的多个净化出口和与沉积气源流体耦接的多个沉积出口表征。输送管在RPS与面板之间延伸且流体耦接RPS和面板。输送管由大体圆柱形的侧壁，所述大体圆柱形的侧壁限定以径向图案布置的上部多个孔隙。上部孔隙中的每一者与净化出口中的一者流体耦接。大体圆柱形的侧壁限定下部多个孔隙，所述下部多个孔隙以径向图案布置且在上部多个孔隙下方。下部孔隙中的每一者与沉积出口中的一者流体耦接。
用于实现 rps 净化气体混合器

[发明专利]圆顶应力隔离层-CN201911251108.7有效
发明人： L·布恩卡特;Y·杨;R·乔德里;A·坎古德 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： F16L59/02 文献下载
摘要：本文所述的实施方式涉及用于工艺腔室中的机械隔离和热绝缘的装置和技术。在一个实施方式中，绝缘层被设置在圆顶组件和气体环之间。绝缘层被配置以维持圆顶组件的温度并且防止从圆顶组件到气体环的热能传递。绝缘层提供圆顶组件与气体环的机械隔离。绝缘层还在圆顶组件和气体环之间提供热绝缘。绝缘层可由含聚酰亚胺的材料制成，所述材料大幅地降低绝缘层变形的发生。
圆顶应力隔离

[发明专利]在处理工具中的板载计量(OBM)设计与影响-CN201680068218.8有效
发明人： K·C·保罗;J·D·平森二世;J·C·罗查－阿尔瓦雷斯;H·K·博尼坎帝;R·乔德里;S·阿特尼;S·坎帕拉;H·K·帕纳瓦拉皮尔库马兰库提 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-11-01 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本公开的实施方案大体而言是关于一种改良的工厂接口，该工厂接口耦接到设以测量基板的膜性质的板载计量壳体。在一个实施方案中，一种设备包含工厂接口以及计量壳体，该计量壳体通过装载端口可移除地耦接到该工厂接口，该计量壳体包含板载计量组件，用于测量将被移送到该计量壳体中的基板的性质。
处理工具中的计量 obm 设计影响

[发明专利]用于查看占用者状态和管理建筑物的设备的系统和方法-CN202080023122.6在审
发明人： R·乔德里;Y·郭;F·萨基;E·维瑟 -专利权人：高通股份有限公司
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G06F3/16 文献下载
摘要：一种用于向可安装到车辆仪表板上的视觉接口提供信息的设备包括存储器，该存储器被配置成存储指示建筑物的可控设备的设备信息和指示建筑物的一个或多个占用者的占用者数据。该设备包括处理器，该处理器被配置成实时接收与该建筑物的一个或多个占用者相关联的状态信息。状态信息包括动态位置信息或动态活动信息中的至少一者。该处理器被配置成生成输出以在视觉接口设备处提供建筑物的至少一部分以及与一个或多个占用者相关联的状态信息的视觉表示。该处理器还被配置成基于用户输入来生成用于调整可控设备中的一个或多个设备的操作的指令。
用于查看占用状态管理建筑物设备系统方法

[发明专利]用于电感耦合等离子体的递归线圈-CN201980089223.0在审
发明人： Z·J·叶;A·坎古德;L·布恩卡特;R·乔德里;杰伊二世·D·平森 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开的实施例总体上涉及一种半导体处理设备。更具体地，本公开的实施例涉及产生和控制等离子体。处理腔室包括腔室主体，所述腔室主体包括一个或多个腔室壁并限定处理区域。处理腔室还包括处于同心轴向对准的两个或更多个感应驱动射频(RF)线圈，所述RF线圈布置在腔室壁附近以触发并维持腔室主体内的等离子体，其中的两个或更多个RF线圈中的至少两个处于递归配置。
用于电感耦合等离子体递归线圈

[实用新型]用于工艺腔室的装置-CN201922220608.6有效
发明人： L·布恩卡特;Y·杨;R·乔德里;A·坎古德 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： F16L59/02 文献下载
摘要：本文所述的实施方式涉及用于工艺腔室中的机械隔离和热绝缘的装置和技术，具体为一种用于工艺腔室的装置。在一个实施方式中，绝缘层被设置在圆顶组件和气体环之间。绝缘层被配置以维持圆顶组件的温度并且防止从圆顶组件到气体环的热能传递。绝缘层提供圆顶组件与气体环的机械隔离。绝缘层还在圆顶组件和气体环之间提供热绝缘。绝缘层可由含聚酰亚胺的材料制成，所述材料大幅地降低绝缘层变形的发生。
用于工艺装置

[发明专利]预警和碰撞避免-CN201980033729.X在审
发明人： G·奥德;A·阿布法德尔;K·珍巴特;A·沙尔玛;R·乔德里 -专利权人：德尔克股份有限公司
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： G08G1/005 文献下载
摘要：除了别的之外，装备位于交通网络的交叉路口处。该装备包括用于从传感器接收数据的输入，该传感器被定向成监视交叉路口处或附近的地面交通实体。无线通信设备向地面交通实体之一的设备发送关于交叉路口处或附近的危险情况的警告，存在处理器和用于能由该处理器执行以执行包括以下内容的动作的指令的存储。机器学习模型被存储，其可以预测当前时间在交叉路口处或附近的地面交通实体的行为。机器学习模型是基于关于交叉路口处或附近的地面交通实体的先前运动和相关行为的训练数据。从传感器接收到的关于交叉路口处或附近的地面交通实体的当前运动数据被应用于机器学习模型，以预测地面交通实体的即将到来的行为。交叉路口处或附近的地面交通实体中的一者或多者的即将到来的危险情况是从经预测的即将到来的行为推断出的。无线通信设备向地面交通实体之一的设备发送关于危险情况的警告。
预警碰撞避免

[发明专利]用于自然语言处理的音频分析-CN201980029699.5在审
发明人： E·维瑟;F·扎基;Y·郭;S·穆恩;L-H·金;R·乔德里 -专利权人：高通股份有限公司
申请日： 2019-05-02 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： G10L15/22 文献下载
摘要：一种设备包括被配置为存储与自然语言处理库的类别相关联的类别标记的存储器。处理器被配置为：分析输入音频数据以生成文本串并至少对所述文本串执行自然语言处理以生成输出文本串，所述输出文本串包括与第一设备、说话者、位置或其组合相关联的动作。所述处理器被配置为：将所述输入音频数据与所述类别的音频数据进行比较，以确定所述输入音频数据是否与所述类别中的任何一个类别相匹配；并且响应于确定所述输入音频数据不与所述类别中的任何一个类别相匹配：创建新类别标记；将所述新类别标记与所述输出文本串的至少一部分相关联；使用所述新类别标记来更新所述类别；以及生成指示所述新类别标记的通知。
用于自然语言处理音频分析

[发明专利]在高温陶瓷加热器上的集成衬底温度测量-CN201880029349.4在审
发明人：张轶珍;R·乔德里;J·D·平松二世;J·M·舒浩勒;H·K·帕纳瓦拉皮尔库马兰库提 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-05-03 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本文的实施方式提供了一种用于在诸如等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺之类的等离子体增强沉积工艺期间直接地监测衬底的温度的衬底温度监测系统。在一个实施方式中，一种衬底支撑组件包括：支撑轴；衬底支撑件，所述衬底支撑件设置在所述支撑轴上；以及衬底温度监测系统，所述衬底温度监测系统用于测量待设置在所述衬底支撑件上的衬底的温度。所述衬底温度监测系统包括光纤管、耦接到所述光纤管的光导、以及围绕所述光纤管和所述光导的接合处设置的冷却组件。在本文中，所述光导的至少一部分设置在延伸穿过所述支撑轴并进入所述衬底支撑件的开口中，并且所述冷却组件在衬底处理期间维持所述光纤管处于低于约100℃的温度。
衬底温度监测系统衬底支撑件光纤管支撑轴光导冷却组件等离子体增强化学气相沉积等离子体增强沉积衬底支撑组件衬底处理延伸穿过接合处测量开口监测

[发明专利]用于估计集成电路的功率消耗的方法和系统-CN200710140379.6有效
发明人： R·乔德里;T·格洛克勒;D·L·斯塔赛厄克;T·斯旺森 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2007-08-10 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：第一硬件用于响应于描述集成电路的宏来执行第一软件以及用于响应于第一软件的执行来生成常数集。第二硬件用于从第一硬件接收常数集以及用于响应于宏和常数集来执行第二软件并且用于响应于第二软件的执行来估计集成电路的功率消耗。
用于估计集成电路功率消耗方法系统

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